金属薄膜之光学与机械性质研究-JournalofScienceand.PDFVIP

下载本文档

4
0
约4.33万字
约 8页
2018-04-01 发布于天津
举报
版权申诉

金属薄膜之光学与机械性质研究-JournalofScienceand.PDF

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

金属薄膜之光学与机械性质研究-JournalofScienceand

科學與工程技術期刊第四卷第一期民國九十七年 81 Journal of Science and Engineering Technology, Vol. 4, No. 1, pp. 81-88 (2008) 金屬薄膜之光學與機械性質研究 1 1 2 2 王奕翔何旭川蕭健男陳宏彬 1 元智大學機械工程學系桃園縣中壢市遠東路 135號 2 財團法人國家實驗研究院儀器科技研究中心新竹市科學園區研發六路 20號摘要光學系統常以金屬薄膜為反射鏡面，藉以改變光的傳播路徑或接收光訊號，如反射式望遠鏡、高效率發光二極體等。鋁（Al ）和銀（Ag ）為最常使用的金屬，並以玻璃或矽為支撐金屬薄膜的基板，由於金屬膜屬軟膜，常因使用中的擦拭而磨耗，需在金屬膜表面加鍍保護層。本文以電子槍蒸鍍技術，蒸鍍鋁和銀膜於 B270 之玻璃基板，並以二氧化矽（SiO2 ）為保護層，同時為增加銀膜與 B270 基板之附著力，於 B270 基板表面蒸鍍鉻（Cr ）。探討不同膜厚下的光學反射率及保護層對反射率之影響，求得最佳之金屬薄膜與保護層厚度，並將實驗量測值與理論計算值相比，獲得相當吻合的結果。再應用奈米壓痕機量測薄膜在不同厚度之硬度與楊氏係數，百格刀檢測薄膜與基板之附著力，藉以瞭解金屬薄膜之機械性質。關鍵詞：電子槍蒸鍍，反射率，奈米壓痕機，機械性質 Optical and Mechanical Properties of a Metallic Layer 1 1 2 2 YI-HSIANG WANG , SHIUH-CHUAN HER , CHIEN-NAN HSIAO and HUNG-PIN CHEN 1Department of Mechanical Engineering, Yuan Ze University 135 Yuan-Tung Rd., Chungli, Taoyuan, Taiwan 320 R.O.C 2Instrument Technology Research Center, National Applied Research Laboratories 20 RD VI Rd., Hsinchu Science Park, Hsinchu, Taiwan 300 R.O.C