膜基界面的结构表征及能量计算.pdfVIP

膜一基界面的结构表征及能量计算 辛红 摘要对于薄膜特别是柱状晶薄膜，当晶粒在膜平面内的尺寸大于膜厚时， 柱状晶粒的上底面(即自由表面)和下底面(即膜一基界面)的面积将大于侧面(即 晶界面)的面积，因此薄膜中的晶粒生长除像整体材料中的晶粒生长一样考虑晶 界能外，还需要考虑表面能和界面能，因为各向异性的表面能和界面能将导致薄膜 中的异常晶粒生长和织构变化。另外膜．基界面结构及能量除直接影响膜一基结合强 度外，对薄膜本身的性能也有一定影响。 和(111)取向的半无穷大晶体构成的扭转界面的结构，并应用改进嵌入原子法 (MEAM)计算了它们的能量。 取向的半无穷大晶体构成的扭转界面的扭转角0、二维重合密度的倒数∑二，／∑：、 配度f(f=l，2)。 要结论： (1)不同于晶界能，由两种不同材料的相同取向的半无穷大晶体构成的界 面，对应扭转角护=0。的晏面能并非为零。 (2)由任意两个取向的半无穷大晶体构成扭转界面时，两晶体间存在～个 ” 。 2 0．085、0．040：O．070、O095、O．060，0．065、O．075、O．055rim。