栽蚤韵圆辕粤造圆韵猿薄膜的原子层沉积和光学性能分析-中国光学.pdfVIP

第源卷摇 第圆期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 中国光学摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 灾燥造援源摇 晕燥援圆 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 圆园员员年源月摇 悦澡蚤灶藻泽藻韵责贼蚤糟泽摇 摇 粤责则援圆园员员 文章编号摇 员远苑源鄄圆怨员缘渊圆园员员冤园圆鄄园员愿愿鄄园愿 栽蚤韵 辕粤造 韵 薄膜的原子层沉积和光学性能分析 圆 圆 猿 卫耀伟摇 刘志超摇 陈松林 渊成都精密光学工程研究中心袁四川成都远员园园源员冤 摘要院采用原子层沉积技术在熔石英和月运苑玻璃基片上镀制了栽蚤韵 辕粤造 韵 薄膜袁沉积温度分别为员员园益和圆愿园益遥 利用 圆 圆 猿 载射线粉末衍射仪对膜层微观结构进行了分析研究袁并在激光损伤平台上进行了抗激光损伤阈值测量遥 采用晕燥皂葬则泽噪蚤 微分干涉差显微镜和原子力显微镜对激光损伤后的形貌进行了观察分析遥 结果表明袁采用原子层沉积技术镀制的栽蚤韵圆辕 粤造 韵 增透膜的厚度均匀性较好袁椎缘园皂皂样品的膜层厚度均匀性优于怨怨豫曰光谱增透效果显著袁在 员园远源灶皂处的透过 圆 猿 率跃怨怨郾愿豫曰在熔石英和月运苑基片上袁栽蚤韵辕粤造 韵 薄膜在员员园益时的激光损伤阈值分别为渊远郾苑猿依园郾源苑冤允辕糟皂 和渊远郾缘依圆 圆 圆 猿 园郾源远冤允辕糟皂圆 袁明显高于在圆愿园益时的损伤阈值遥 关摇 键摇 词院薄膜光学曰原子层沉积曰激光损伤曰增透膜 中图分类号院韵源愿源援源摇 摇 文献标识码院粤 韵责贼蚤糟葬造糟澡葬则葬糟贼藻则蚤泽贼蚤糟泽燥枣栽蚤韵 辕粤造 韵 贼澡蚤灶枣蚤造皂泽 圆 圆 猿 葬灶凿贼澡藻蚤则葬贼燥皂蚤糟造葬赠藻则凿藻责燥泽蚤贼蚤燥灶泽 宰耘陨再葬燥鄄憎藻蚤袁蕴陨哉在澡蚤鄄糟澡葬燥袁悦匀耘晕杂燥灶早鄄造蚤灶 渊悦澡藻灶早凿怎云蚤灶藻韵责贼蚤糟葬造耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早砸藻泽藻葬则糟澡悦藻灶贼藻则袁悦澡藻灶早凿怎远员园园源员袁悦澡蚤灶葬冤 粤遭泽贼则葬糟贼院粤贼燥皂蚤糟蕴葬赠藻则阅藻责燥泽蚤贼蚤燥灶渊粤蕴阅冤憎葬泽怎泽藻凿贼燥凿藻责燥泽蚤贼栽蚤韵辕粤造 韵 枣蚤造皂泽葬贼员员园益 葬灶凿圆愿园益 燥灶 圆 圆 猿 择怎葬则贼扎葬灶凿月运苑泽怎遭泽贼则葬贼藻泽蚤灶贼澡蚤泽责葬责藻则援 栽澡藻皂蚤糟则燥泽贼则怎糟贼怎则藻泽燥枣贼澡蚤灶枣蚤造皂泽 憎藻则藻蚤灶增藻泽贼蚤早葬贼藻凿遭赠葬灶载鄄则葬赠凿怎枣鄄 枣则葬糟贼蚤灶藻贼藻则袁葬灶凿贼澡藻蕴葬泽藻则陨灶凿怎糟藻凿阅葬皂葬早藻栽澡则藻泽澡燥造凿渊蕴陨阅栽冤燥枣泽葬皂责造藻泽憎葬泽 皂藻葬泽怎则藻凿燥灶葬皂藻葬泽怎则蚤灶早贼葬遭造藻 遭赠葬凿葬皂葬早藻贼藻泽贼泽赠泽贼藻皂援 栽澡藻灶袁贼澡藻凿葬皂葬早藻凿皂燥则责澡燥造燥早蚤藻泽燥枣贼澡藻泽葬皂责造藻泽憎藻则藻 蚤灶增藻泽贼蚤早葬贼藻凿遭赠葬灶粤贼燥皂蚤糟 云燥则糟藻酝蚤糟则燥泽糟燥责藻渊粤云酝冤葬灶凿葬晕燥皂葬则泽噪蚤燥责贼蚤糟葬造皂蚤糟则燥泽糟燥责藻袁则藻泽责藻糟贼蚤增藻造赠援 栽澡藻则藻泽怎造贼泽蚤灶凿蚤糟葬贼藻贼澡葬贼贼澡藻枣蚤造皂泽 凿藻责燥泽蚤贼藻凿遭赠粤蕴阅泽澡燥憎遭藻贼贼藻则怎灶蚤枣燥则皂蚤贼赠葬灶凿贼则葬灶泽皂蚤泽泽蚤燥灶袁葬灶凿蚤贼泽怎灶蚤枣燥则皂蚤贼赠蚤泽遭藻贼贼藻则贼澡葬灶怨怨豫 枣燥则葬 囟缘园 皂皂泽葬皂责造藻葬灶凿贼则葬灶泽皂蚤泽泽蚤燥灶蚤泽皂燥则藻贼澡葬灶