气相法沉积PTFE薄膜及其疏水性-南京工业大学学报自然科学版.PDFVIP

第３６卷第２期 南　 京　 工　 业　 大　 学　 学　 报　 （自然 科 学 版） Ｖｏｌ．３６ Ｎｏ．２ ２０１４年３月 ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＮＡＮＪＩＮＧＴＥＣＨ ＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ （Ｎａｔｕｒａｌ Ｓｃｉｅｎｃｅ Ｅｄｉｔｉｏｎ） Ｍａｒ． ２０１４ － ｄｏｉ：１０．３９６９／ ｊ．ｉｓｓｎ．１６７１ ７６２７．２０１４．０２．０１１ 气相法沉积ＰＴＦＥ薄膜及其疏水性 １ １ ２ １ ３ １ １ 方　 丹 ，江晓红 ，ＲＯＧＡＣＨＥＶ Ａ Ａ ，胡　 博 ，徐　 新 ，沈瑞琪 ，陆路德 （１．南京理工大学化工学院 中国 白俄罗斯“真空等离子体技术”国际科学实验室， 江苏 南京 ２１００９４；２．白俄罗斯戈梅利国立大学，戈梅利 ２４６０１９； ３．南京柯伦迪检测技术有限公司，江苏 南京 ２１１１３５） 摘　 要：分别以载玻片、陶瓷片、镀铝聚酯膜、普通白纸和Ｃｕ片为基底，聚四氟乙烯（ＰＴＦＥ）粉末为原料，采用电子 束蒸发法沉积聚合物薄膜。 对于基底载玻片和陶瓷片，采用２％Ｈ ＳＯ 溶液刻蚀预处理后在其上沉积厚度为１２５ ２ ４ ｎｍ 的聚合物薄膜；Ｃｕ片用不同浓度草酸刻蚀预处理后在其上沉积厚度为６２ ｎｍ的聚合物薄膜；而基底镀铝聚酯膜 和白纸，直接在其上沉积不同厚度的ＰＴＦＥ薄膜。 通过傅里叶变换红外光谱仪（ＦＴ ＩＲ）、原子力显微镜（ＡＦＭ）、接 触角测量仪分别对薄膜的成分、表面形貌和疏水性进行表征。 结果表明：经刻蚀处理后，基底表面粗糙度皆增大。 载玻片由亲水性转变为疏水性，陶瓷片无明显变化，Ｃｕ片显示良好的疏水性；沉积薄膜后，载玻片表面接触角增大 到１３８°，而陶瓷片接触角可以达到１４２°；在粗糙度较大的白纸表面沉积不同厚度的ＰＴＦＥ薄膜，膜厚对接触角具有 显著影响，当膜厚为２２５ ｎｍ 时，接触角达到 １５１°，滞后角为８°；经０５％草酸刻蚀的Ｃｕ 片表面膜的接触角达到 １５３°，滚动角为２°，具有良好的超疏水性。 关键词：电子束蒸发；ＰＴＦＥ薄膜；表面能；接触角；超疏水性 － － － 中图分类号：ＴＢ７４２　 　 　 文献标志码：Ａ　 　 　 文章编号：１６７１ ７６２７（２０１４）０２ ００６５ ０８ Ｈｙｄｒｏｐｈｏｂｉｃｉｔｙ ｏｆ ＰＴＦＥ ｆｉｌｍ ｄｅｐｏｓｉｔｉｅｄ ｂｙ ｇａｓ ｐｈａｓｅ ｍｅｔｈｏｄ １ １ ２ １ ３ １ １ ＦＡＮＧ Ｄａｎ ，ＪＩＡＮＧ Ｘｉａｏｈｏｎｇ ，ＲＯＧＡＣＨＥＶ Ａ Ａ ，ＨＵ Ｂｏ ，ＸＵ Ｘｉｎ ，ＳＨＥＮ Ｒｕｉｑｉ ，ＬＵ Ｌｕｄｅ （１．Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｃｈｉｎｅｓｅ⁃Ｂｅｌｏｒｕｓｓｉａｎ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｙ ｏｎ Ｖａｃｕｕｍ⁃Ｐｌａｓｍａ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｃｏｌｌｅｇｅ ｏｆ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ， Ｎａｎｊｉｎｇ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ ２１００９４，Ｃｈｉｎａ；２．Ｆｒａｎｃｉｓｋ Ｓｋａｒｙｎａ Ｇｏｍｅｌ Ｓｔａｔｅ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｇｏｍｅｌ ２４６０１９，Ｂｅｌｏｒｕｓｓｉａｎ；３．Ｃｌｉｎｄｉａｇ Ｓｙｓｔｅｍｓ Ｃｏｍｐａｎｙ，Ｎａｎｇｊｉｎ