第八课集成电路测试系统.PDFVIP

第八章集成电路测试系统 概述 混合集成电路测试系统的硬件系统 集成电路测试系统的软件构成 8.1 概述 ATE定义 发展方向 测试设备分类 世界著名测试设备制造公司 国内较出名的测试设备公司 ATE 自动测试设备 英文全称为Automatic Test Equipment. 由电子电路和机械硬件组成，是由同一个主控制器 指挥下的电源、计量仪器、信号发生器、模式 pattern （ ）生成器和其他硬件项目的集合体，用 于模仿被测器件将会在应用中体验到的操作条件， 以发现不合格的产品。 IC测试系统的发展方向 超高速、高精度 多参数、多功能、多管脚 模块化 IC测试设备分类 按使用目的分类 按测试对象分类 按使用目的分类 精密型测试设备：主要用途是对研制和开发中的集成电路进行工程估价。 这类测试仪器通常配置较强的计算机和完善的软件系统，通过软件和硬 件的结合，包装测量的高精确度。 生产型测试设备：主要用于集成电路生产线上的测试，其特点是测试的 高效率和高可靠性，以及具有较高的测量精度，其任务是保证出厂产品 的质量和合格性。 验收型测试仪器：主要用于集成电路成品检验和入场检验，多数微机控 制的台式仪器，注重低成本和可靠性。有的用户在验收检测内容方面大 致上与生产厂最终测试内容相同，所以生产型测试设备也可作为验收型 仪器使用。 维修型仪器：属于最低档次的一起，多数用作维修时的简易测试。 按测试对象分类 通用测试系统：测试各种类型数字电路 存储器测试系统：测试各种存储器件 模拟集成电路测试系统：测试各种类型模拟电路 数模混合测试系统: 测试模拟集成电路和数模混合 集成电路 : 专用测试系统 专用于测试某一器件 世界著名的测试设备制造公司 仙童( Fairchard)公司 泰克( Tektronix)公司 泰瑞达( Teradyne)公司 Verigy公司、Credence公司 Advantest公司 安藤电气(Ando Electron) 国内较出名的测试设备公司 北京自动测试技术研究所 中国科学院计算技术研究所、半导体所 北京无线电仪器厂 光华无线电仪器厂 北京科力公司 8.2 混合集成电路测试系统的硬件系统 硬件系统功能 通用测试系统结构图 ATE各个部分介绍 测试系统硬件功能 测试系统硬件由运行一组指令（测试程序） 的计算机控制，在测试时提供合适的电压、 电流、时序和功能状态给 并监测 的 DUT DUT 响应，对比每次测试的结果和预先设定的界 限，做出 或 的判断。 pass fail 图 构 结 统 系 试 测 用 通 ATE各个部分介绍 1.主控计算机：主要控制IC测试，还必须配置与探针测试台、 自动分选器的响应接口 2.总线控制器：完成计算机与测试系统之间的通信和控制 3.数字信号测试部分 4.混合信号测试部分 5.模拟信号测试部分 6.测试头子系统 数字信号测试部分 精密测量单元 数字逻辑测试单元 主要技术指标 PMU （精密测量单元） 驱动模式和测量模式（Force and Measurement Modes ）：驱动功能可 选择为电压或电流：如果选择了电流，则测量模式自动被设置成电压；反 之，如果选择了电压，则测量模式自动被