高科技洁净室灾害概述.PDFVIP

第二章 高科技潔淨室災害概述 2.1 何謂潔淨室 (Clean room) 潔淨室是一個為了對空間內空氣中的微粒、粉塵做有效控 制，所建造的特殊封閉性建築空間 ，一般而言，對內部溫溼 度、氣流運動模式、震動與噪音等 環境因素做控制。所以亦 稱為『無塵室』或『無菌室』 ，在半導體工業、生物科技、醫 學及食品業…等，是不可或缺之重要設施；因此， 『潔淨室』 就是將密閉空間內空氣中的微塵粒 子、細菌等污染物經過特 殊空調系統過濾排除，並將此空間溫度、溼度控制在一定範 圍內，以達到無塵的作業環境，除 此之外，構成潔淨室條件 至少還需具備下列幾項要件： 1.潔淨室空調系統應能迅速除去空氣中漂浮之微塵粒子。 2.潔淨室應能防止微塵粒子之產生及沉積。 3.內部與外部區域隔間應能達到一定氣密程度。 4.潔淨室內的溫度、溼度及壓力之應能控制在一定範圍內。 5.生產過程環境應能防止靜電的產生。 6.必須有防止震動及減低噪音之設施。 7.內部應有避免電磁波干擾之設施。 8.對空氣中細菌、病毒或有毒物質能有效控制處理。 9.內部區間應規劃及有效之人員、物品動線。 10.生產運轉能源、動力之負載考量。 11.設置成本及維護難易度的考量。 13.建築結構強度、承載能力及使用年限之考量。 5 2.2 潔淨室的分類: 潔淨室為半導體元件或微細產品的製造場所，空間單位都 是以微米計算，因此只要有微塵顆粒沾附在半導體元件上，便 有可能破壞到其精密導線佈局，造 成電性短路或斷路的嚴重後 果，因此所有半導體製程設備都必須安置在隔絕粉塵進入的密 閉空間中，以確保產品的良率；潔淨室的潔淨等級，有一公認 的標準，以 cl ass 10 為例，意謂在單位立方英呎的潔淨室空 間內，平均只有粒徑 0.5 微米以上的粉塵 10 粒，所以 class 後頭數字越小，潔淨度越佳，當然其造價也越昂貴。 依據美國聯邦標準 209D 潔淨室規格，國內常用的潔淨室 依 其 潔 淨 度 可 分 成 Class 1 、 Class 10 、 Class 100 、 Class1,000 、Class 10,000 及 Class 100,000 等 6 級數，依 其製程環境需求有不同潔淨度，其潔淨室規格分類如表 2-1: 6 表 2-1 美國聯邦標準 209D 潔淨室規格 粒子大小 粒子數目 壓力 溫度℃ 風速或換氣率 照度 級數 Particles Class μm 3 mmAg 範圍 推薦值 誤差值 次/hr lux 顆/ft ≧0.5 ≦1 1 ≧5.0 0 ≧0.5 ≦10 10 層流方式 ≧5.0 0 0.45m/s±0.1m/s ≧0.5 ≦100 100 ±2.8 特殊 1080