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电子显微镜及扫描探针显微镜结构和原理的研究毕业论文 伴随着微电子技术发展起来的纳米技术是影响人类的关键技术。纳米技术主要是在纳米量级上研究物质的特性和相互作用，以及利用这些特性而展开的多学科高新技术。各国科学家都一致认为21世纪是纳米科技的世纪。从20世纪80年代初第一台扫描隧道显微镜（STM）的出现到随后出现的原子力显微镜（AFM），再到如今集各种功能于一身的扫描探针显微镜（SPM），这些纳米技术研究设备的不断更新，更进一步地推动了纳米科技的发展和应用。扫描探针显微镜（SPM）更是成为当今纳米技术研究不可缺少的研究工具。 4.1扫描探针显微镜的起源与发展 （1）起源 在扫描探针显微镜出现以前，对微观结构的观测主要是通过光学或者电子透镜成像来实现。但这类仪器的分辨率都受到Abbe极限的限制。这一限制使得传统的光学和电子显微镜的分辨率很难达到纳米量级。1956年，美国科学家O.Keefe提出了扫描探测原理。应用此原理就能从理论上突破Abbe极限对显微镜分辨力的限制。 1974年，美国国家标准局的Yong等人采用了O.Keefe的扫描探测原理，利用场发射电流测量样本表面的形貌，研制了一台新型的轮廓仪―――topgrafiner，该仪器可以说是现代扫描探针显微镜的雏形。1982年IBM公司苏黎世研究所的物er成功研制了第一台扫描隧道显微镜（STM），并借此观察到了Si表面清晰的原子结构,使人类第一次进入原子世界, 直接观察到了物质表面上的单个原子。因此两人获得了1986年诺贝尔物理奖。由于STM需要被测样本必须为导体或半导体，因此其应用受到一定的局限。 1985年他们在STM理论的基础上发明了原子力显微镜（AFM），将观察对象由导体、半导体扩展到绝缘体。 2 发展 此后人们在STM和AFM原理的基础上又相继发明了力调制显微镜 FMM 、相位检测显微 PDM 、静电力显微镜 EFM 、电容扫描显微镜 SCM 、热扫描显微镜 SThm 和近场光隧道扫描显微镜 NSOM 等各种系列显微镜。这些显微镜都是利用探针在被测样本表面上进行横向和纵向扫描从而引起相关被测量 变化的原理来工作的设备。因此国际上把这一系列的显微镜称之为扫描探针显微镜（SPM 。图1是扫描探针显微镜的一些主要分类，在此主要介绍最常用的两种：STM,AFM。 4.1 扫描探针显微镜的分类 如今扫描探针显微镜的应用已经不仅仅局限于样本表面形貌的观测，而已深深渗入微电子技术、生物技术、基因工程、生命科学、材料科学、表面技术、信息技术和纳米技术等各种尖端科学领域。 4.2 扫描隧道显微镜 扫描隧道显微镜英文名称：scanning tunnel microscope;STM。它是利用量子隧道效应产生隧道电流的原理制作的显微镜。其分辨率可达原子水平，即观察到原子级的图像。在生物学中，可观察大分子和生物膜的分子结构。 隧道显微镜简介 扫描隧道显微镜 Scanning Tunneling Microscope, 以下简称 STM 是 20世纪 80 年代发展起来的一种新型显微表面研究新技术, 其核心思想是利用探针尖端 与物质表面原子间的不同种类的局域相互作用来测量表面原子结构和电子结构。1981 年在 IBM公司瑞士苏黎世实验室工作的 宾 希 尼 和 罗雷尔, 利用针尖和表面间的隧道电流随间距变化的性质来探测表面的结构, 获得了实空间的原子级分辨图像。这一发明使显微镜科学达到了一个新的境界, 并对物理、 化学、生物、材料等领域的研究产生了巨大的推动作用。 4.2 扫描隧道显微镜 STM 对金属表面原子结构、金属的氧化和腐蚀机理等进行了深入的研究。例如研究 Cu 表面具有不同氧覆盖度时, 通过氧在表面化学吸附诱导铜表面再构 的形成和生长过程, 发现在Cu（100）表面每隔4行丢失1行铜原子, Cu - O-Cu 原子链在 Cu 100 表面某 一方向成核 , 然后外延生长。而在 Cu 100 表面在不同氧覆盖度时有多种再构情况, 其中 2 x 1 再构是先在平整的平台上成核, 然后各向异性地生长出 Cu - O - Cu 链, 而 Cu 6 @ 2 再构却先在台阶边缘上成核，然后各向异性生长。 STM还用于超导材料的研究, 它可以再原子尺度的 空间研究超导体能隙。 例 如 它被 用于Bi2Sr2CaCu2O8高Tc氧化物超导体的BiO 面电子态密度测量, 结合其它分析技术就可确定材料不同层的电导特性。已有许多实验室将STM用于薄膜生长机理研究和薄膜结构性能的研究。例如对 C60分子薄膜在 Si 和 GdAs