干膜教育训练课程.PDF

乾 乾 膜 膜 教 教 育 育 訓 訓 練 練 課 課 程 程 1 課程大綱【 】 課程大綱【 】 1.乾膜光阻製程 1.乾膜光阻製程 1.1.銅面前處理製程 1.1.銅面前處理製程 1.1.1.外觀檢查 1.1.1.外觀檢查 1.1.2.酸洗 1.1.2.酸洗 1.1.3.銅面處理 1.1.3.銅面處理 1.1.4.水洗 1.1.4.水洗 1.1.5.吸乾吹乾、烘乾 1.1.5.吸乾吹乾、烘乾 1.2.壓膜製程 1.2.壓膜製程 1.2.1.壓膜前清潔 1.2.1.壓膜前清潔 1.2.2.壓膜 1.2.2.壓膜 1.2.3.壓膜後清潔 1.2.3.壓膜後清潔 2 1.3.曝光製程 1.3.曝光製程 1.3.1.曝光前底片檢查、清潔 1.3.1.曝光前底片檢查、清潔 1.3.2.曝光 1.3.2.曝光 1.3.3.曝光後靜置 1.3.3.曝光後靜置 1.4.顯影製程 1.4.顯影製程 2.無塵室管理 2.無塵室管理 2.1.何謂無塵室 2.1.何謂無塵室 2.2.無塵室等級區分 2.2.無塵室等級區分 2.3.無塵室人員及物品進出之管理與清潔 2.3.無塵室人員及物品進出之管理與清潔 2.3.1.人員及物品進出 2.3.1.人員及物品進出 2.3.2.無塵室清潔 2.3.2.無塵室清潔 2.4.無塵室人員穿著 2.4.無塵室人員穿著 3 3.設備參數 3.設備參數 3.1.刷磨機 3.1.刷磨機 3.2.壓膜機 3.2.壓膜機 3.3.曝光機 3.3.曝光機 3.4.顯影機 3.4.顯影機 4.乾膜製程缺點預防及改善方法 4.乾膜製程缺點預防及改善方法 4.1.刷磨製程 4.1.刷磨製程 4.2.壓膜製程 4.2.壓膜製程 4.3.曝光製程 4.3.曝光製程 4.4.顯影製程 4.4.顯影製程 4 5.乾膜各製程機台保養程序 5.乾膜各製程機台保養程序 5.1.刷磨機 5.1.刷磨機 5.2.壓膜機 5.2.壓膜機 5.3.曝光機 5.3.曝光機 5.4.顯影機 5.4.顯影機 5 【1.乾膜光阻製程 】 【1.乾膜光阻製程 】 早在 1950年代左右乾膜使用於印刷工業上取 早在 1950年代左右乾膜使用於印刷工業上取 代非感光性溼膜阻劑之塗佈作為影像轉移。到了 代非感光性溼膜阻劑之塗佈作為影像轉移。到了 1968年美國杜邦公司首度發展出應用於電子工業 1968年美國杜邦公司首度發展出應用於電子工業 的感光性聚合物乾性移像膜 ，PCB製造也開始步入 的感光性聚合物乾性移像膜 ，PCB製造也開始步入 另一個里程碑。而杜邦公司的專利權到 1984年結 另一個里程碑。而杜邦公司的專利權到 1984年結 束後，陸續有多家世界級的公司也發展出自有品 束後，陸續有多家世界級的公司也發展出自有品 牌加入商場競爭。例： Hitachi 、Morton 、 牌加入商場競爭。例： Hitachi 、Morton 、 Eternal…等。 Eternal…等。 乾膜依其機轉作用可分為正片工作膜 (Positive 乾膜依其機轉作用可分為正片工作膜 (Positive Work Film or Positive Image)及負片工作膜 Work Film or Positive Image)及負片工作膜 (Negative Work Film or Ne