- 1、本文档共72页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
材料分析与检测-Mipaperbylciscomtw
MingDao University
2010/02
材料分析與檢測
參考資料
一般材料的分析技術可以概分為結構分析(物性)與成份分析(化性 ) 兩大類。其
分析方法多利用一入射粒子束(Source )如電子束、離子束、光束(含可見光及
X 光射線)及微探針(Probe )等,與試片作用產生各種二次粒子後,偵測其作
用後產生的訊號,來分析材料各項材料特性。
一般常見的材料分析技術,不外乎想要得知試片的(1)表面或材料內部的
顯微結構影像 ,此類的代表儀器包括掃描式電子顯微鏡(SEM )、穿透式電子顯
微鏡( TEM )及原子力顯微鏡(AFM )等;(2 )材料成份分析 ,此類的代表儀
器包括 X 光能量散佈分析儀(EDS )、表面化學分析儀(ESCA )、歐傑電子顯
微鏡( AES )及二次離子質譜儀(SIMS )等;及(3 )材料結晶結構鑑定與分析 ,
此類的代表儀器包括X 光繞射分析儀(XRD )及穿透式電子顯微鏡(TEM )等。
常見的儀器有 (1)光學顯微鏡 (Optical Microscope, OM) ;(2)掃描式電子顯微
鏡 (Scanning Electron Microscope, SEM) ;(3)X 光 能 譜 分 析 儀 (X-ray
Spectrometry) ;(4) 穿透式電子顯微鏡 (Transmission Electron Microscope, TEM) ;
(5)聚焦式離子束顯微鏡 (Focused Ion beam, FIB) ;(6)X 光繞射分析儀 (X-ray
Diffractometer, XRD) ;(7)掃描式歐傑電子顯微鏡 (Scanning Auger Microscope,
SAM) ;(8)二次離子質譜儀 (Secondary ion Mass Spectrometry, SIMS) ;(9)拉塞福
背向散射質譜儀 (Rutherford Backscattering Spectrometry, RBS) ;(10)全反射式 X-
光螢光分析儀 (Total Reflection X-ray Fluorescence, TXRF) ;(11)掃描穿隧顯微鏡
(Scanning Tunneling Microscope, STM) ;(12)原子力顯微鏡 (Atomic Force
Microscope, AFM) 等十幾種。
材料分析訊號
對於各種分析儀器的基本原理,一般顯微鏡的系統,大多利用光學鏡片或電
磁透靜(電磁場)來偏折或聚焦帶能量的粒子束(例如:可見光、電子、離子、
X 光)。再藉著粒子束與試片物質的作用,激發出各類二次粒子(例如:可見光、
二次電子、背向散射電子、穿透式電子、繞射電子、二次離子、特性 X 光、繞
射 X 光、歐傑電子、光電子、背向散射離子、螢光等),偵測其二次粒子的能
譜、質譜、光譜、或成像,即可分析材料的結構和各種特性。
在各類儀器中可以依入射粒子束的不同,概分為三大類:
1
MingDao University
2010/02
(1)電子束,如圖 1-1所示,可激發出穿透電子、 繞射電子、非彈性碰撞電子、
二次電子、背向散射電子、歐傑電子、特性 X 光及螢光等二次訊號,進而分析
材料各種特性。
圖 1-1
(2)離子束,如圖 1-2所示,依儀器設計的功能不同選用不同的離子源(如 He+ 、
+ +
Ga及 Cs 等離子),激發出二次離子、二次電子、背向散射離子、二次中性粒子
及特性 X 光等二次訊號,進而分析材料各種特
您可能关注的文档
- 教育部台语词典试用版-桃园教育局.PDF
- 数字电子技术-Read.PDF
- 数学函数ABSx求x的绝对值MAXx1x2xn求所有自变量中.PDF
- 教室教学的春天分组合作学习回流工作坊.PDF
- 数据可靠性法规及主要检查缺陷.PDF
- 数据资料SP9922.PDF
- 数据记录仪8430-2HIOKI-日置.PDF
- 整理好最新会计科目表整理版打印版.pdf
- 整车线束的制作安装要求.PDF
- 整合驱动程序到系统安装盘-图片多是因为适应不同用户的需求其实.PDF
- [专精特新]金华永和氟化工有限公司行业竞争力评级分析报告(2023版).pdf
- [专精特新]重庆升光电力印务有限公司行业竞争力评级分析报告(2023版).pdf
- [专精特新]无锡巨力重工股份有限公司行业竞争力评级分析报告(2023版).pdf
- [专精特新]江西凯安新材料集团股份有限公司行业竞争力评级分析报告(2023版).pdf
- [专精特新]浙江永昌电气股份有限公司行业竞争力评级分析报告(2023版).pdf
- [专精特新]苏州中创铝业有限公司行业竞争力评级分析报告(2023版).pdf
- [专精特新]杭州汽轮铸锻有限公司行业竞争力评级分析报告(2023版).pdf
- [专精特新]浙江美声智能系统有限公司行业竞争力评级分析报告(2023版).pdf
- [专精特新]汕头市虹桥包装实业有限公司行业竞争力评级分析报告(2023版).pdf
- [专精特新]江西亚中电子科技股份有限公司行业竞争力评级分析报告(2023版).pdf
最近下载
- 江苏省2021年中学生生物学奥林匹克初赛理论试题答案.doc
- 2025年哈尔滨应用职业技术学院单招语文测试题库附答案.docx VIP
- 2025年安徽水利水电职业技术学院高职单招职业技能测试近5年常考版参考题库含答案解析.docx
- 【道氏理论】(完全版).doc
- 分娩镇痛的现状和临床应用课件.ppt
- 学科中心教研组管理方案.docx VIP
- 五年级下册数学单元测试-3长方体和正方体 人教版(含答案).docx
- 2024年安徽水利水电职业技术学院单招职业技能测试题库(考试直接用).docx VIP
- 23S516 混凝土排水管道基础及接口图集.docx VIP
- 数控系统(CNC)系列:Fanuc 31i-B_(6).G代码和M代码详解.docx
文档评论(0)