酸洗作业指导书1.docVIP

江西豪安能源科技有限公司 酸洗作业指导书 目的： 对硅多晶、复拉料、埚底料、籽晶、母合晶、石英坩埚进行化学腐蚀清洗，消除其杂质玷污，以满足硅单晶生产的需求。规范拉单晶的作业操作程序，提高作业效率，从而保证拉出合格的单晶。 用材料及使要求 硅多晶：经检验合格的块状多晶（用于直拉单晶） 复拉料：经分选测试合格 埚底料：经分选测试腐蚀合格 籽晶：经检验合格 母合晶：经检验合格 石英坩埚：经检验合格 去离子水：水质≥15MΩ、8T/h 定性滤纸：规格550×550mm 无尘塑料袋：规格33.5×56cm，壁厚0.45mm（多晶硅10kg/袋） 化学试剂（分析纯）：硝酸、氢氟酸 其他辅助材料：纱布、毛巾、口罩、塑料围裙、塑料袖套、耐酸袖套、耐酸雨鞋、薄膜手套。 石英坩埚（无尘包装）规格：Φ406（16”）-606（宽）×670（高）；Φ456（18”）-457（宽）×700（高） 设备及常用工具 设备 腐蚀柜、酸雾处理塔 排风机 15KW，7000L/h 电热烘箱 24KW，温度150-180℃ 电加热器 电光分析天平 型号TG328B 磅秤、电子称 塑料袋封口机 型号FKR-450 脱水机 常用工具 不锈钢盘、不锈钢镊子、螺丝刀、剪刀、塑料钳、塑料勺、塑料棒、塑料桶、塑料盆、塑料花篮（取氟乙烯塑料）、塑料漏斗、平光眼镜。 技术要求 硅多晶原料 硅多晶尺寸范围：块状硅