射流抛光多相紊流流场的数值模拟-强激光与粒子束.pdf

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２１ １ Ｖｏｌ．２１ Ｎｏ．１ 　 　 年 月 ， ２００９ １ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｊａｎ． ２００９ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２００９０１０００６０５ 　 射流抛光多相紊流流场的数值模拟 ， １２ １ １ １ １ 施春燕 ， 袁家虎 ， 伍 凡 ， 万勇健 ， 侯 溪 　 　 　 　 　 　 （ 中国科学院 光电技术研究所，成都 ； 中国科学院 研究生院，北京 ） １． ６１０２０９ ２． １０００４９ 　 摘 要： 理论分析了射流抛光的紊动冲击射流特点，构建了射流抛光的垂直冲击射流模型和斜冲击射流 　　 　 　 模型。根据射流抛光冲击射流的特点，比较各种流体模型后，采用 ＲＮＧ犽模型应用于射流抛光模型的计算。 ε 利用计算流体力学理论的二阶迎风格式对抛光模型方程离散，用 ＳＩＭＰＬＥＣ数值计算方法对射流抛光过程的 紊动冲击射流和离散相磨粒分布进行数值模拟，得到了射流抛光过程的连续流场和离散相磨粒与水溶液的耦 合流场，同时计算出了抛光液射流在工件壁面上的压力、速度、紊动强度、剪切力分布和磨粒体积质量分布，分 析了垂直射流抛光模型和斜冲击射流抛光模型紊流流场的特点。 关键词： 光学加工； 射流抛光； 数值模拟； 冲击射流； 紊流流场 　　 　 　 　 　 　 中图分类号： ； 文献标志码： ＴＨ７４ ＴＰ６０ Ａ 　　 　 　 　　　　 　 强光光学元件的制造是 ＩＣＦ领域的一个重要组成部分，研究新的光学加工工艺来应对 ＮＩＦ装置对光学制 　　 造的挑战，促进整个激光装置研制的发展，具有重大的意义。射流抛光技术是最近几年发展起来的一种新型光 ［］ 学加工工艺，实际上是一种计算机控制小磨头抛光技术。１９９７年，荷兰 Ｄｅｌｆｔ大学的Ｏ．Ｗ．Ｆｈｎｌｅ１ 等人最 先提出把磨料射流技术应用于光学表面抛光。结果显示，射流抛光技术应用于精密光学制造是可行的。与传 统抛光技术相比，射流抛光技术具有能加工任意曲面形状的光学元件、抛光精度高、易控制和加工成本低等优 ［ ］ ２５ 点，在光学表面加工领域中已取得了一定的应用 。 ［ ］