磁场辅助微电化学铣削特性之研究.pdfVIP

修平學報 第二十九期 民國一○三年九月 HSIUPING JOURNAL VOL.29, pp.1-16 （September 2014 ） 1 磁場輔助微電化學銑削特性之研究 崔海平、顏炳華、楊曜光 摘 要 本研究提出一種新穎的加工方式，利用磁場輔助精微螺旋電極，進行微電化學銑 削 (Electrochemical micro milling, EMM) ，以製作微孔、微流道及3D 微結構。當磁場 作用於精微螺旋電極所帶動之電解液時，產生之勞倫茲力有助於電解液的更新及加工 效率的提升。根據實驗的結果；在磁場輔助之下，微孔於磁鐵0°擺放的微孔孔徑較 180° 擺放為小，且在電極不旋轉的情況下，向上進給加工確實可以改善擴孔量，並減少孔 入口端周遭的雜散電流腐蝕區域面積。而槽道加工進給率將可由 5μm/sec 提高到 8μm/sec 。除此之外，溝槽的寬度及深度也將各自減少至344μm 及98μm 。而溝槽之表 面粗糙度亦由Ra 1.26μm (Rmax 6.5μm)降低到Ra 0.54μm (Rmax