溅镀沉积氮化物硬质薄膜铣削镍基超合金之研究壹前言.pdfVIP

中國鑛冶工程學會 2017 年年會 濺鍍 沉積氮化 物硬質薄膜銑削鎳基超合金之研究 1 2 3 4 张跃飞 林欣儀 陳健志 許春耀 1 浙江工贸职业技术学院汽车与机械工程学院 講師 2 龍華科技大學 研究生 3 龍華科技大學 助理教授 4 龍華科技大學教授 鎳基超合金(MAR-M247, Inconel 718 等高耐蝕性、耐高溫、高強度、良好抗疲勞) 等，廣泛應用於航太、石油及核能工業，如航空發動機等，由於 性質優異，故切削加工 非常困難。本研究濺鍍 沉積CrAlSiN 薄膜於碳化鎢刀具(K10) ，以Ar 為電漿氣體，N2 為反應氣體，分別使用 Cr 、Al及 Si 為靶材。研究結果顯示，CrAlSiN 薄膜最大微硬度， 楊氏