防尘室介绍与讲解与快速发展.pptVIP

目 的 : 使相關人員能了解防塵室環境的基礎知識 及防塵室管理規定，進而達成環境清淨化 之要求。 課 程 大 綱 微塵定義與來源探討 認識防塵室 污染防制手法 防塵室日常管理 防塵室layout說明 防塵室進出作業標準 防塵室檢驗 防塵室維護 靜電防制 常犯問題點說明 微塵定義與來源探討 微塵粒子與防塵室 一、空氣中的微塵粒子 (1) 粒徑:以微米(μm)為單位。 μm=10^(-6)m=0.001mm。註:^代表次方。 (2) 概念 鉛筆心直徑:0.5mm=500μm。 頭髮直徑:100μm。 肉眼可見10μm以上之粒子，10μm以下者看不見，故稱為微粒子。 (3) 分類:極微粒子1μm以下，微粒子1μm ~ 10μm，粒子10μm以上。 (4) 一般室內之塵埃 10μm以上之粒子約占15%，10μm以下之微粒子約占85%。 炭塵約占50%‧，砂塵約占40%，纖維與其它約占10%。 (5) 濃度單位:個/立方英呎 或 個/立方公尺。 1立方英呎約等於28公升。 1立方公尺約等於1000公升。 表 1-1 大氣塵埃之濃度 表1-2 自然界之塵埃濃度 大氣塵埃之種類與顆粒大小 淨 化 房 內 的 污 染 1.淨化房內的塵埃發生源 淨化房內的塵埃主要來源於，(1)主、副原料、(2)機械裝置、(3)環境、（4)操作者等多種方面，根據有關專門調查機關的調查結果，其中從操作者手中身上發生的塵埃的比例非常之高，是我們必須注意的現象。 2.淨化房內的塵埃發生源的發塵比例(據有關專門調查機關的調查結果) 3.IC基板表面上的附著物(螢光顯微鏡法分析結果) 以上的數據說明，淨化房內的操作者，對淨化房內的污染有著極大的影響。 最大之發塵源-----工作人員 操作者身上發生塵埃的因素 1.發塵的三大因素: A.泄漏發塵:從衣服的開口部泄漏出來的空氣中存有的塵埃 B.滲透發塵:從穿過衣服布料的空氣中含有的塵埃 C.材料發塵:衣服中各種材料本身產生的塵埃 T.總發塵量:A+B+C 從操作者身上產生的塵埃分為以上三個因素。 防塵服的最終機能是，綜合平衡各因素將起源於操 作者的微粒子污染(總發塵量)減少到最小限度。 內衣為全棉衣褲的場合，總發塵量中的發塵量比例 順序是泄漏發塵、滲透發塵、材料發塵。也就是說 要抑制總發塵量，必須從抑制泄漏發塵著手、必須 從衣服的結構相關的素材和降低內衣褲的塵埃量著 手是非常重要的。 (1)微塵造成LCD蝕刻不良 (2)微塵造成LCD CELL異物短路 (3)微塵造成IC短路 (4)微塵造成IC Bonding後變形短路 (5)微塵髒污造成ITO蝕刻 微塵粒子的影響 認 識 防 塵 室 防 塵 室 之 演 進 1958美國為發展太空科學開始作無塵室之研究 1961完成空軍之無塵室規格(100000級) 1963 DEC美國聯邦無塵室規格公佈(F.S209) 1966 AUG修正F.S 209A 增加設計及測試方法等10項 1973 APR修正F.S 209B氣流量及溫溼度範圍 1977 MAY修正F.S 209B 增加1000級標準 1987 OCT修正F.S 209C 增加10級與1級標準(1M DRAM問市) 1988 JUN修正F.S 209D 標準 1992 DEC修正F.S 209E 採取公制單位(Class M1-Class M7) 構成防塵室需具備因素 能有效去除空氣中飄浮之微塵粒子 能防止微塵粒子之產生 溫度與溼度可以得到控制 各區域之壓力可以得到調節 有害之廢氣可被排出 有害之廢水可被排出 建物結構物與隔間具有氣密 有靜電防制 有電磁干擾之預防 有節省能資源之考量設計 安全因素之考慮 防 塵 室 之 適 用 範 圍 工業用防塵室I.C.R(Industrial Clean Room) 半導體、電子工業廠、光學機械、精密機械、航太… 生化及醫藥用防塵室B.C.R(Biological Clean Room) 製藥、醫療設施、生物實驗室 防 塵 室 之 標 準 規 格 防 塵 室 的 構 造 防塵室的主要結構是通過空調機吸引外界的空氣。空調機內部設置 一般過濾器、中效能過濾器、高效能過濾器，用這種方式將灰塵及微粒子 去除。 經過過濾的清淨空氣經過天花板上的出風口向室內吹入，型成氣流 使氣流成為正壓是很種要的。氣流經過回風口(地板)、回風通道返回空 調