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- 2018-11-16 发布于天津
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佟建华邵培革王立鼎大连理工大学微机电系统研究中心辽宁大连串联压电双晶片压电微电机机理引言串联弯曲臂式压电微电机的运行机理及结构样机测试结论上羽贞行富川郎超声波马达理论与应用邵培革曲炳郡王立鼎仪器仪表学报史小军堵国梁朱为电子器件梁克平串联臂压电微电机及其驱动系统的研究邵培革微小压电电机研究梁克平邵培革杨敬涵等仪器仪表学报杨宜民新型驱动器及其应用中国光学与应用光学文摘
10 5 Vol. 10 No. 5
2 0 0 2 1 0 Opt ics and P recision Eng ineering O ct . 2 0 0 2
1004924X( 2002) 05047 105
佟建华, 邵培革, 王立鼎
( 大连理工大学微机电系统研究中心, 辽宁大连 116024
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