plasma 机台维护保养类别.docVIP

PLASMA 機台保養類別 週保養 季保養 年度保養 Plasma 機台週保養 1、將掉落於電極的鋁粉及Chamber壁的污染物用酒精擦拭(操作員手可觸及的範圍) 2、添加Oil pump 真空油至8份滿(注意用油型號) 3、檢查pump是否漏油 4、檢查 RF的反射功率是否太高 當反射功率大於8W時請通知鈦昇服務人員 當反射功率大於15W時請關機 5、機台的散熱風扇是否運轉 Plasma 機台季保養 1、機台外觀擦拭 2、chamber內壁及o-ring溝槽用酒精擦拭 3、察看電極的濾網是否破裂 4、電極外觀用酒精擦拭 5、更換Oil pump 真空油 Plasma 機台年度保養 Chamber 清洗 Oil pump overhaul Roots pump overhaul 電極清洗 玻璃shield 清洗 MFC校正　 Chamber 清洗 Oil pump overhaul Roots pump overhaul 基本上兩年overhaul 一次，視使用狀況而定 電極清洗 玻璃shield清洗 MFC校正 送回原廠校正 記錄機台目前狀況： 抽真空時間 真空壓力回昇速度 RF Bais (empty magazine) RF反射功率 下電引入(溫度高，旋轉電引入時須小心，避免斷劣於T型塊) 下氣引入(陶瓷管由腔體內部取，Bellow退出腔體時避免過渡彎曲) 下電極座、玻璃(組裝時須注意玻璃方向性) 3M溶劑清洗腔體內部及門板 用酒精作最後清洗 10、用酒精擦拭O-RING及溝槽(組裝時須注意O-RING壓模線朝左右兩側) 11、若有更換電極的過濾網，組裝時須調整T型 塊，與電引入同高。 12、T塊須攻牙，再鎖電引入 13、組裝完與組裝前的性能比較 6、測試 Pump turn off、洩掉變黑色的油 加入約200cc的新油與殘留的舊油混合、 pump turn on 約30 sec，洩掉髒油 5、添加新油約7分滿 記錄機台目前狀況： 1、抽真空時間 2、真空壓力回昇速度 記錄機台目前狀況： 1、抽真空時間 2、真空壓力回昇速度 4、真空度測試 3、更換一台pump，使線上繼續作業 3、更換一組清洗過的電極 4、性能測試 記錄機台目前狀況： 偏壓、反射功率 真空度 記錄機台目前狀況： 偏壓、反射功率 真空度 3、拆下電極及四週shield的玻璃，用酒精擦拭 (抽氣孔先遮蓋，避免玻璃碎片掉落) 4、性能測試