微纳制造演示教学.pptx

微 纳 制 造 ——21世纪制造技术的突破;内 容;微纳制造的概念;2.微纳技术的提出 随着制造业的发展对加工精度提出了越来越高的要求，传统机床的加工精度已经远远不能满足飞速发展的消费及军工领域的要求，如电子硅芯片、大规模集成电路，以及对表面粗糙度要求很高的液晶面板等，于是，人们把眼光投入到精度更高的加工技术上，从最初的毫米级，到微米级(千分之一毫米)，到纳米级(千分之一微米)，于是，“微纳技术”这一概念就应运而生了。 微纳技术在二十多年的发展过程中，从刚开始的单纯理论性质的基础研究衍生出了许多分支。如微纳级精度和表面形貌的测量，微纳级表层物理、化学、机械性能的检测，微纳级精度的加工和微纳级表层的加工原子和分子的去除、搬迁和重组，以及纳米材料纳米级微传感器和控制技术：微型和超微型机械；微型和超微型机电系统和其他综合系统；纳米生物学等。 ;微纳制造的发展现状;典型的微纳结构制造技术; 1.硅微加工技术; 2. 超精密切削加工技术;4.隧道式近场放电加工技术;;微纳制造的应用案例;2. 微型机械昆虫;3. 世界最小的微型机械人;4. 以微型加工技术制造的机械耳蜗;5. 纳米生物科技-分子马达;6. 纳米齿轮 Nano Gear;7.原子操作术;其他的应用;微纳制造的发展趋势;谢 谢！