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液中求銅-製程廢硫酸銅回收裝置應用 連翊鈞 台積電300mm 廠務處竹科廠務一部 iclien@ 摘要 電解水產生氫氣及氧氣，並可控制電流於陰極表面 之電流分布。 硫酸銅(CuSO4)為 LSI 銅製程之重要原料之 十九世紀初，麥可‧法拉第(Michael Faraday)經由 一，其製程廢液濃度可達20 g/L 以上，極具回收 實驗觀察發現，物質在電解過程中，參與電極反應 價值。現行因放流水質限制(竹科放流水銅檢出量 的質量與通過電極的電量成正比。以公式表示為: 需小於1ppm)，致使TSMC 高濃度廢硫酸銅均採委 MQ m （1） 外清運方式處理，以減少對於廠區放流水之影響。 Fn 台積電F12P3 廠導入高效銅金屬回收裝置-管式電 其中n 為1莫耳物質電解時參與電極反應的電子的 解還原設備還原廢硫酸銅中之銅離子為銅金屬，取 摩爾數（即化合價），（M/n ）又稱化學當量（Eq ）； 代傳統委外清運之處理方式，有效將廢棄物資源 F 為法拉第常數，即電解1 電化學當量物質所需電 化，減少台積公司之廢棄物之清運量，善盡企業社 量。法拉第定律以銅為例，其(Eq/F)為1.182(g/A ‧ 會責任。 Hr) ，意即每安培小時理論可於陰極還原1.185g 之 關鍵字(3~5 個字) ：廢硫酸銅回收、管式電解還原 銅金屬。應用此一定律及搭配硫酸銅廢液濃度之量 設備、減廢 測，便可依照需求設計出所需之整流器容量大小， 使得電解還原硫酸銅之處理速率符合現場需求。 1. 前言 Preface / Introduction 2.2 電解回收技術說明 電解還原回收銅是應用電化學反應的原理，利 台積電 F12P3 廠為減少高濃度含銅廢液之清 用電極間的電位差爲驅動力， 於電極與電解液的 運量，採用國內廠商製造之管式電解還原設備，可 介面發生氧化還原反應；在電解液中陰陽極的反應 將含銅離子≥10g/L 之原廢液，電解後排放液銅離 如圖 1 所示。 子濃度可降低至≤0.2g/L ，成為可廠內處理之含銅 廢水，同時每月可回收銅金屬約 1.3 公噸，以達到 減廢及廢棄物資源化之雙重目的。 2. 計畫方法 Methodology 2.1 電化學沉積法 電化學沉積法是透過直流電源驅動，於溶液 中將電能轉變為化學能，使金屬離子獲得電子還原 圖 1 成金屬薄膜於陰極表面。電解還原時所使用之陽極 陽極反應： 可分為可溶性陽極(soluble anode)與不溶性陽極 在酸性溶液中，陽極只有電解水反應，反應如下： (insoluble anode)兩種，可溶性陽極於電解還原過程 中