换能器驱动信号与引线键合强度的关系.pdfVIP

第44卷第4期 机械工程学报 V01．44No．4 2008年4月 0FMECHANICAL Apr． 2008 CHINESEJOURNAL ENGINEERING 换能器驱动信号与引线键合强度的关系木 王福亮 韩雷 钟掘 (中南大学机电工程学院长沙410083) 摘要：设计超声引线键合机换能器驱动信号采集系统，获得超声粗铝丝楔键合过程中换能器系统的驱动电流、电压信号，计 算换能器系统的输入功率和输出阻抗信号。进行了l000次不同超声功率条件下的键合试验，获得换能器系统驱动信号和键 合强度值。根据试验结果的统计规律，研究换能器系统的输入功率和输出阻抗的时域特征规律，平均值和与键合强度的关系， 以及不同阶段的平均值与键合强度的关系。研究结果表明，换能器系统平均输入功率与键合强度间的关系明显，呈开口向下 的抛物线形式；键合过程的P1和P2阶段是影响键合强度的主要阶段，具有同样重要的作用，P3阶段虽然不影响键合强度，