半导体材料导论2节.pptVIP

按规定用()表示晶面，表示晶向。从图中可以看出，每一种晶面是一个族， 用{}来表示族。在立方晶系中，各族包括的晶面为： {100} ：(100)，(100)，(010)，(010)，(001)，(001)共6个面； {110} ：(110)、(110)、(101)、(101)、(011)、(011)、(110)、(110)、(101)、(101)、(011)、（011）共12个面； {111}：(111)、(111)、(111)、(111)、(111)、(111)、(111)、(111)共8个面。 图2.15 立方晶系的一些面的密勒指数 如图2.15所示的立方晶系，其中（a）的上面的平面与x、y轴平行，截距为∞，与z轴相切，截距为r ，那么h:k:l = 1/∞:1/∞:1/r = 0:0:1， 故上面的平面为（001 ）面，此面的法线方向为001方向，以此类推。 以金刚石结构为例，将其晶面 的一些特征列入表2.5 中。 我们可以看出{111}的面间距是大小交替地存在。在间距大的面上的键密度又最小，而{110}次之，因此它们之间的结合力最弱，最容易由此断开，这种断裂现象称为解理。 在半导体器件工艺中，常常利用解理把大晶片分割成小芯片。 硅、锗的解理面为{111}及{110}。 表2.5 金刚石型结构的晶面特征 晶体的各向异性也可以从晶格结构中看出。 但对闪锌矿结构则不完全相同