Chapter6 压电传感器.ppt

第六章　压电式传感器 压电式传感器是以具有压电效应的压电器件为核心组成的传感器，已被广泛应用于超声，通信，宇航，雷达和引爆等领域。 ６．１　压电效应及材料 ６．２　压电方程及压电常数 ６．４　压电式传感器及其应用 ６．５　影响压电传感器工作的主要因素 6.1 压电效应及材料6.1.1 压电效应 一，正压电效应（压电效应） ： 在电介质的一定方向上施加机械力而产生电的极化，导致两个相对表面（极化面）上出现符号相反的束缚电荷Q，且其电位移D域外应力张量T成正比： D=dT（d—压电常数矩阵）或 当外力消失，又恢复不带电原状；当外力消失，电荷极性随之而变。 二，逆压电效应（电致伸缩）： 施加电场时，应变S与外电场强度E成正比：S= E（ —逆压电常数矩阵） 6.1.2 压电材料 压电材料的主要特征参数： 1，压电常数 2，弹性常数 3，介电常数 4，机电耦合系数 5，电阻 6，居里点 迄今出现的压电材料 居里点或居里温度是指材料可以在铁磁体和顺磁体之间改变的温度。低于居里点温度时该物质成为铁磁体,此时和材料有关的磁场很难改变。当温度高于居里点温度时,该物质成为顺磁体,磁体的磁场很容易随周围磁场的改变而改变。 热释电性:某些晶体如电气石，当温度变化时，产生极化现象；或者某些晶体原来存在自发极化，当温度变化时，其极化强度会发生变化的现象。 6.1.2.1 压电晶体 一：石英晶体（ SiO2） 俗称水晶，有天然和人工之分 x轴与a轴重合，称之电轴，它穿过六棱柱的棱线，在垂直于此轴的面上压电效应最强； y轴垂直m面，称之机轴，在电场作用下，沿该轴方向的机械变形最明显； z轴与c轴重合，称之光轴（中性轴），光线沿该轴通过时无折射，沿该轴方向没有压电效应。 主要性能特点：1. 压电常数小，时间和温度稳定；2.机械强度和品质因素高，刚度大，固有频率高，动态性好；3.居里点573摄氏度，无热释电性，绝缘性和重复性佳． 石 英 晶 体 石英晶体切片 压 电 模 型 6.1.2.2 压电陶瓷 压电陶瓷的极化处理 在一定温度下对其施加强直流电场，迫使“电畴”去向外电场方向作规则排列；极化场去除后，去向电畴基本保持不变，形成很强的剩余极化，从而呈现压电性。 压电陶瓷特点：压电常数大，灵敏度高；制造工艺成熟；成型工艺性好，成本低廉；热释电性。 常用压电陶瓷（按组成基本元素划分） 二元系压陶瓷（钛酸钡） 三元系压陶瓷（PMN） 电 畴 变 化 极 化 图 解 等 效 原 理 6.1.2.3 新型压电材料 压电半导体 硫化锌，碲化镉，氧化锌，硫化镉等 有机高分子压电材料 某些合成高分子聚合物，经延展拉伸和电极化后具有压电性高分子压电薄膜。 高分子化合物中参杂压电陶瓷PZT或钛酸钡粉末制成的高分子压电薄膜 6.2 压电方程及压电常数6.2.1 石英晶体的切型及符号 切型的表示方法 a） 有两个大写字母组成。如：AT，CT等 b） 以厚度取向为切型：由晶体坐标x，y，z，切片尺寸t，l，w和旋转角度组合而成。 eg（xyltw） ；t=（0.8 0.01）mm；l=（40.0 0.1）mm；w=（9.0 0.03）mm 6.2.2 压电方程及压电常数矩阵 注： 在讨论正压电效应时，暂不考虑外界附加电场的作用；在讨论逆电压效应时，暂不考虑外界附加力场的作用；并忽略磁和温度场的影响。 6.2.2.1 石英晶体的压电方程 各向异性的石英晶片，单一压电效应： 式中：i—电效应（场强，极化）方向的下标，i=1，2，3； j—力方向（应力，应变）方向的坐标，j=1，2，···6； Tj—j方向的外施力分量（Pa）； —j方向的应力在i方向的极化强度（或i表面上的电荷密度）（C/ )； —j方向的应力引起i表面产生电荷时的压电常数 推广： （i=1，2，3） 6.2.2.2 压电陶瓷的压电方程 以钛酸钡为例 压电方程： 其中