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有毒气体特性介绍 MSDS 培训大纲 1. 各模块使用特气情况 2. 气体化学性质分类 3. 特气供应系统 4. 特气报警系统 5. 车间特气泄漏应急处理 6. 员工安全注意事项 各模块使用特气情况 扩散 HCL 注入 ASH3 BF3 PH3 Ar 刻蚀 CL2 HBr SF6 C2F6 CHF3 CF4 He Ar 溅射 Ar LPCVDPECVD 15%PH3/SIH4 SIH4 NH3 N2O BCL3 C2F6 HCL SIH2CL2 气体化学性质分类 类别 特气名称 毒性 15%PH3/SIH4 SIH4 SIH2CL2 NH3 ASH3 PH3 HCL HBr CL2 BCL3 BF3 易燃易爆性 15%PH3/SIH4 SIH4 SIH2CL2 NH3 ASH3 PH3 助燃性 CL2 N2O 腐蚀性 HCL HBr CL2 BCL3 BF3 SIH2CL2 NH3 无毒/窒息性 SF6 CF4 CHF3 C2F6 He Ar N2O 特气供应系特气报警系统 对于毒性气体,设备上有毒特气都安装有特气报警器,每模块都装有一个声光报警器.正常情况下，特气