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2、气相沉积技术 是指将含有沉积元素的气相物质，通过物理或化 学的方法沉积在材料表面，形成薄膜的一种新型镀 膜技术。 根据沉积过程 的原理不同，气 相沉积技术可分 为物理气相沉积 （PVD）和化学 气相沉积（CVD） 两大类。 4.10 表面处理新技术 ① 物理气相沉积（PVD） 是指在真空条件下，用 物理的方法，使材料汽化 成原子、分子或电离成离 子，并通过气相过程，在 材料表面沉积一层薄膜的 技术。 物理沉积技术主要包括 真空蒸镀、溅射镀、离子 镀三种基本方法。 4.10 表面处理新技术 真空蒸镀：是蒸发成膜材料使其汽化或升华沉积到工件表面形成薄膜的方法。 4.10 表面处理新技术 溅射镀：在真空下通过辉光放 电来电离氩气，氩离子在电场作 用下加速轰击阴极，溅射下来的 粒子沉积到工件表面成膜的方法。 4.10 表面处理新技术 表面淬火：是指在不改变钢的化学成分及心部组织情况下，利用快速加热将表层奥氏体化后进行淬火以强化零件表面的热处理方法。 适用于承受弯曲、扭转、摩擦和冲击的零件。 4.8 钢的表面淬火 表面淬火目的： ①使表面具有高的硬度、耐磨 性和疲劳极限; ②心部在保持一定的强度、硬 度的条件下，具有足够的塑性和 韧性。即表硬里韧。 4.8 钢的表面淬火 表面淬火用材料 ⑴0.4-0.5%C的中碳钢。 含碳量过低，则表面硬度、 耐磨性下降。 含碳量过高，心部韧性下降； ⑵铸铁：提高其表面耐磨性。 4.8 钢的表面淬火 预备热处理工艺 对于结构钢为调质或正火。前者性能高，用于要求 高的重要件，后者用于要求不高的普通件。 目的为表面淬火作组织准 备，并获得最终心部组织。 4.8 钢的表面淬火 表面淬火后的回火 采用低温回火，温度不高于200℃。 回火目的为降低内应力，保留淬火高硬度、耐磨性。 表面淬火+低温回火后的组织 表层组织为M回 心部组织：调质为S回 正火为F+S 4.8 钢的表面淬火 表面淬火常用加热方法 感应加热: 利用交变电流在 工件表面感应巨大涡流，使工 件表面迅速加热的方法。 4.8 钢的表面淬火 ① 高频感应加热 频率为250-300KHz，淬 硬层深度0.5-2mm 4.8 钢的表面淬火 火焰加热: 利用乙炔火焰直接加热工件表面的方法。成本低，但质量不易控制。 激光热处理: 利用高能量密度的激光对工件表面进行加热的方法。效率高，质量好。 4.8 钢的表面淬火 化学热处理： 将工件置于特定介质中加热保温，使介质中活性原子渗入工件表层从而改变工件表层化学成分和组织,进而改变其性能的热处理工艺。 4.9 钢的化学热处理 与表面淬火相比，化学热处理不仅改变钢的表层组织，还改变其化学成分。 化学热处理也是获得表硬里韧性能的方法之一。 根据渗入的元素不同，化学热处理可分为渗碳、氮化、多元共渗、渗其他元素等。 4.9 钢的化学热处理 1、化学热处理的基本过程 ① 介质(渗剂)的分解: 分解 的同时释放出活性原子。 如：渗碳 CH4→2H2+[C] 氮化 2NH3→3H2+2[N] ② 工件表面的吸收: 活性原 子向固溶体溶解或与钢中某些 元素形成化合物。 ③ 原子向内部扩散。 4.9 钢的化学热处理 2、钢的渗碳 是指向钢的表面渗入碳原子的过程。 ① 渗碳目的 提高工件的表面硬度、耐磨性及疲劳强度，同时保持心部良好的韧性。 ② 渗碳用钢 为含0.1-0.25%C的低碳钢。碳高则心部韧性降低。 4.9 钢的化学热处理 ③ 气体渗碳法 将工件放入密封炉内 后，在高温渗碳气氛中 渗碳。 渗剂为气体（煤气、 液化气等）或有机液体 （煤油、甲醇等）。 质量好, 效率高； 渗层成分与深度不易 控制。 4.9 钢的化学热处理 ④ 固体渗碳法 将工件埋入渗剂中，装箱 密封后在高温下加热渗碳。 渗剂为木炭。 操作简单；渗速慢，劳动 条件差。 ⑤ 真空渗碳法 将工件放入真空渗碳炉中， 抽真空后通入渗碳气体加热 渗碳。 优点: 表面质量好, 渗碳 速度快。 4.9 钢的化学热处理 ⑥ 渗碳温度：为900-950℃。 渗碳层厚度（由表面到过度层一半处的厚度）： 一般为0.5-2mm。 渗碳层表面含碳量： 以0.85-1.05为最好。 渗碳缓冷后组织： 表层为P+网状Fe3CⅡ 心部为F+P 中间为过渡区。 4.9 钢的化学热处理 ⑦ 渗碳后的热处理 淬火+低温回火, 回火温度为160-180℃。 预冷淬火法：渗碳后预冷到略高于Ar1温度直接淬火。 4.9 钢的化学热