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单11 工艺技术管理精品
粉末流体起电 ??粉体与器壁、粉体与粉体碰撞,接触分离、摩擦、碎裂而引起的静电颗粒越小,相互作用越强烈,碰撞面积越大,起电越强烈。 弹药库、纺织厂、面粉厂均须严格控制空气中的粉尘浓度。 液体起电 1、液体的偶电层 ????液相与固相界面亦能形成偶电层:液体(如石油)中的可电离杂质和其它离子被吸引到金属壁上。正负离子对金属不可能具有相同的亲和力,亲和力大的就被金属表面所吸引并吸附着,而液体中电荷量相等的异性离子留在液相内,并聚集在界面附近。在界面处形成偶电层,内层是紧贴在固体表面上的离子称固定层,而外层离子是可动的称活动层或扩散层。 2、流体带电 ????当液体流动时,流动层的带电粒子随液体流动形成流动电流,异性带电粒子留在管道中,如管道接地则流入大地,流动的电荷形成电流。稳态时,带电粒子不断被流动液体所带走,固定层电荷经接地管道而被中和,此现象有点像电解。不同的亲和力,扩散与液体流动的综合作用取代了电解中的电场作用。影响电量大小与极性的因素有:1、液体种类及特性;2、管道材料及表面光滑度;3、流速、温度、含水量和空气、混合物及杂质微粒。 人体静电 人体是最主要的静电源之一 人体的活动使部分机械能转换为电能,每日耗热量:4.18×10 7 J = 10KWh,瞬间放电功率达90KW。 人体对地电阻主要由鞋、袜、地面决定 人体等效电容:100PF (电容有充放电效应) 人体等效电阻:1K W (~1.5K W ) 安全静电电压:100V(国标 SJ/T 10630-95)。华为公司《静电放电控制规范》(DKBA0.100.0027)已采用此标准。 静电损伤 一、静电损伤的两种失效形式 1. 硬损伤:又称“突发性完全失效”、“一次性损坏”,约占10% 表现为器件电参数突然劣化,失去原有功能。主要原因是静电放电造成过压使得介质被击穿,或过流使得内部电路金属导线熔断、硅片局部融化等。 硬损伤可通过常规的性能测试手段及时发现,相对软失效而言危害要小得多。 2. 软损伤:又称“潜在性缓慢失效”、“多次损伤累积后失效”,约占90% 受到软损伤的器件,虽然当时各类电参数仍合格,然而其使用寿命却大大缩短了。含有这些器件的产品或系统,可靠性变差,可能会在后续过程中(直至最终用户)继续遭受ESD软损伤或其它过应力损伤积累而过早地失效。 由于软损伤是潜在的,运用目前的技术还很难证明或检测出来,特别是器件被装入整机产品之后,因此具有更大的危害性。这些产品流入市场后的维护成本和造成的其它损失,将比在生产中发生的直接损失要放大几十甚至上百倍! 二、基本的ESD事件 对器件直接的静电放电 = HBM、MM 器件自身发生静电放电 = CDM 电场感应放电 三、ESD事件模型 人体模型(HBM) 静电损伤最普遍的原因之一是通过从人体或带电材料到静电放电敏感(ESDS)器件之间的一系列有效电阻(1~1.5KΩ)发生静电电荷的直接转移。当人走过楼面时,静电电荷就在人体上积累。手指与ESDS器件或组件表面的简单接触就可使人体放电,可能造成器件损坏。用以模拟这类事件的模型就叫人体模型(HBM), 其等效电路如图所示。 机器模型(MM) 与HBM事件类似的放电还可发自导电物体,例如金属做的工具或设备。机器模型源自日本,是试图建立一个最恶劣的HBM事件的结果。这个ESD模型包含一个200pF的电容,它向未串联阻抗的一个元件直接放电。与最恶劣的人体模型相比,机器模型也许过于严格。然而,现实世界确实有该模型所代表的情况存在。例如,来自充电板组件或自动测试器电缆的快速放电。 带电器件模型(CDM) 来自ESDS器件的电荷转移也是ESD事件。例如,一个器件可能在顺着送料器滑入自动装配机时被充电。如果它随后接触到插头或其它导电表面,从该器件到金属物体的快速放电就可能发生。这个事件就是带电器件模型(CDM)事件,对某些器件而言可能比HBM更具破坏性。尽管放电持续时间非常短暂(通常小于1纳秒),但电流峰值可达几十安培 ,甚至数百安培。 四、器件敏感度的分级 ESD事件导致的敏感器件受损程度,主要取决于器件耗散放电能量或承受电压的能力,即静电敏感度。 任一种测试方法均包括一个分级体系,定义器件对应指定模型的敏感度(详见表1,表2和表3)。这些分级体系有很大的利用价值,它使得我们可以根据器件的ESD敏感度来进行方便的分组和比较,并确定器件所需的ESD防护级别。 表1 ESDS器件敏感度分级——人体模型HBM( ESD STM5.1-1998) 等级 电压范围 0级 <250V 1A级 250V~500V(不含500V) 1B级 500V~1000V(不含1000V) 1C级 1
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