化学合成气相沉积.PPT

第六章 纳米材料的制备方法 6.1 气相法制备纳米微粒 定义：气相法指直接利用气体或者通过各种手段将物质变为气体，使之在气体状态下发生物理或化学反应，最后在冷却过程中凝聚长大形成纳米微粒的方法 优点：颗粒细、团聚少,可以制备出液相法难以制得的金属碳化物、氮化物、硼化物等非氧化物超微粉 缺点：设备要求高 气相法的加热源 1. 电阻加热：主要是进行低熔点金属（ Ag、Al、Cu、Au等）的蒸发，产量小，常用于研究 2. 高频感应加热：粒子粒径均匀、产量大，高熔点低蒸气压物质的纳米微粒(W、Ta、Mo等)难制备 3. 激光加热：不受蒸发物质的污染，适于制备高熔点的金属纳米粒子以及各种氧化物、碳化物和氮化物等 4. 电子束加热：可制备高熔点金属以及相应的氧化物、碳化物、氮化物等纳米粒子，通常在高真空中使用 5. 微波加热：加热速度快且均匀，节能高效，易于控制，但不适用于金属材料 6. 电弧加热：有气中电弧和真空电弧两种 6.1.1 物理气相沉淀法(PVD) 定义：在整个纳米材料形成过程中没有发生化学反应，主要是利用各种热源促使金属等块体材料蒸发气化，然后冷却沉积而得到纳米材料。主要用于制备金属纳米微粒 分类： 1. 气体冷凝法:设备相对简单,得到的纳米颗粒表面清洁，粒度容易控制,适于低熔点金属纳米粒子的合成 2.氢电弧等离子体法：微粒的生成量随