海力士－意法半导体有限公司月产40k片12英寸超大规模.docVIP

目　　录 1、建设项目基本概况 2 2、主要环境保护目标 2 3、主要原辅材料能源消耗 2 4、主要生产工艺及设备 5 5、选址所在地区域规划概况 8 6、产业政策相符性分析、清洁生产指标水平分析 12 7、环境质量现状与影响预测结果 16 8、污染防治措施分析 18 9、环境风险评价结论及风险防治措施 21 10、污染物总量控制及公众参与结果 22 11、总结论 25 1、建设项目基本概况 建设项目名称：海力士－意法半导体有限公司月产40k片12英寸超大规模集成电路制造项目 建设单位：海力士－意法半导体有限公司 项目性质：扩建 建设地点：江苏省无锡高新技术产业开发区的出口加工区（地块K7） 投资总额：16.6亿美元，其中环保投资2310万美元 预计投产时间：2007年3月～7月 2、主要环境保护目标 本项目控制污染目标为项目建成后污染物必须做到达标排放，污染物排放总量考虑在无锡市区内平衡。排污口设置必须符合《江苏省排污口设置及规范化整治管理办法》要求。环境保护目标见表1。 表1 环境保护目标表 序号 环境 环境保护对象 方位 距厂界 距离（m） 性质 规模（人） 环境功能 1# 空气 环境 海关直通点 SE 580 行政办公 150 《环境空气质量标准》二级标准要求 2# 星洲印象小区 SW 860 居民区 3640 3# 行创四路小区 WNW 950 居民区 5000 4# 国际学校 NW 1250 学校 2000 5# 海力士员工宿舍 NNW 390 居民区 180 6# 韩国人学校 NW 850 学校 500 7# 地表水环境 京杭大运河 - 新城污水厂受纳水体 航运、雨污通道 -- 《地表水环境质量标准》Ⅳ类标准 8# 声环境 四侧厂界1米 《工业企业厂界噪声标准》Ⅲ类标准 3、主要原辅材料能源消耗 主要原辅材料一览表见表2。本项目生产过程中不使用蒸汽，加热全部采用电加热。建设项目所需的主要原、辅材料使用情况见表2。 表2 12英寸（40K/月）主要原辅材料的消耗一览表 序号 原料名称 应用工段 每片消耗量 （kg/片） 年消耗量 （kg/a） 1 硅片 - - 576000片 2 光掩膜版 - - 329片 3 ACT-935 单乙醇胺(50～60%)；羟胺(10～20%) 扩散 0.78315 375,909.7 4 BOE　LAL15(300:1,SA-X,200KG/DR) NH4F(16.7～17.3%)；HF(0.06%) 0.52132 250,233.1 5 BOE LAL1400(SAX 200KG/DR) NH4F(19.7～20.3%)；HF(3.8～4.2%) 3.32753 1,597,214.2 6 H2O2 2.38954 1,146,980.6 7 H2SO4 1.75190 840,912.0 8 H3PO4 0.71820 344,736.0 9 HF(100:1) 8.74058 4,195,476.2 10 HF(49%)SA 0.40178 192,855.3 11 HF(49%)SAX 0.19038 91,382.3 12 HNO3 0.07050 33,840.0 13 HSS（ABBRASIV） 0.08640 41,472.0 14 HSS（ADDITIVE） 0.21400 102,720.0 15 IPA 0.69233 332,317.4 16 NH4OH 2.01501 967,206.2 17 OXIDE SLURRY(SS-25) 2.55611 1,226,933.8 18 SSW2000 0.27427 131,648.2 19 T.C.A(7N,1500CC,2KG/CYL) 0.00133 636.0 20 TMA(AL(CH3)3,6N,4L,2.406KG/BT) 0.00378 1,812.0 21 1%PH3/HE 0.00038 184.3 22 CLF3 0.00119 571.7 23 DCS(二氯硅烷) 0.00433 2,077.0 24 F2 0.00048 230.0 25 HF 0.00025 121.8 26 N2O 0.03629 17,421.1 27 NF3 0.00090 429.6 28 NH3 0.02593 12,444.2 29 SiH4 0.04381 21,026.9 30 AR 0.00010 45.6 31 AsH3 0.00006 28.3 32 BF3 0.00014 66.5 33 PH3 0.00003 1