YS/T 1059-2015硅外延用三氯氢硅中总碳的测定　气相色谱法.pdf

ICS77.040.30 H 17 中华人民共和国有色金属行业标准 / — YST1059 2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法 Determinationoftotalcarboncontentintrichlorosilaneforsiliconeitax— q y Gaschromatorahicmethod g p 2015-04-30发布 2015-10-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 / — YST1059 2015 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准由全国有色金属标准化技术委员会( / )提出并归口。 SACTC243 : 、 、 本标准起草单位 中锗科技有限公司 昆明冶研新材料股份有限公司 江苏中能硅业科技发展有限 、 。 公司 新特能源股份有限公司 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、 、 本标准主要起草人 刘英杰 郑华荣 柯尊斌 刘新军 赵建为 王桃霞 张京 张云晖 杨红燕 陈喜清 杨帅。 Ⅰ / — YST1059 2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法 1 范围 本标准规定了硅外延用三氯氢硅中总碳含量的气相色谱测定方法。 , 。 本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定 测定范围为0.00005%~0.005% 2 方法提要 , , 、 三氯氢硅样品在惰性气体保护下注入气相色谱仪 其中的含碳组分 在高温 富氢还原炉内全部转 , , 。 : 化为甲烷 然后用氢火焰离子化检测器检测甲烷的含量 计算出三氯氢硅中的总碳量 转化反应如下