YS/T 1053-2015电子薄膜用高纯钴靶材.pdf

ICS77.150.70 H 62 中华人民共和国有色金属行业标准 / — YST1053 2015 电子薄膜用高纯钴靶材 Hih-uritcobaltsutterin taretusedinelectronicfilm g p y p g g 2015-04-30发布 2015-10-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 / — YST1053 2015 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准由全国有色金属标准化技术委员会( / )提出并归口。 SACTC243 : 、 。 本标准负责起草单位 宁波江丰电子材料股份有限公司 有研亿金新材料有限公司 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、 、 本标准主要起草人 王学泽 李勇军 郑文翔 罗俊锋 袁海军 熊晓东 陈勇军 刘丹 陆彤 袁洁 张涛。 Ⅰ / — YST1053 2015 电子薄膜用高纯钴靶材 1 范围 ( ) 、 、 、 本标准规定了电子薄膜用高纯钴靶材 以下简称高纯钴靶 的要求 试验方法 检验规则和标志 包 、 、 、 ( ) 。 装 运输 贮存 质量证明书及订货单 或合同 内容 本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( ) 。 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 / 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差 GBT1804 / : ( ) 计数抽样检验程序 第 部分 按接收质量限 检索的逐批检验抽样计划 GBT2828.1 1