YS/T 1031-2015化学气相沉积炉.pdf

ICS77.180 H 91 中华人民共和国有色金属行业标准 / — YST1031 2015 化 学气 相沉积炉 Chemicalvaordeositionfurnace p p 2015-04-30发布 2015-10-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 / — YST1031 2015 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准由全国有色金属标准化技术委员会( / )提出并归口。 SACTC243 : 、 。 本标准起草单位 湖南顶立科技有限公司 中国有色金属工业标准计量质量研究所 : 、 、 、 、 、 、 、 。 本标准主要起草人 戴煜 胡祥龙 胡高健 羊建高 马卫东 戴晓蕾 周岳兵 吴艳华 Ⅰ / — YST1031 2015 化 学气 相沉积炉 1 范围 、 、 、 、 、 、 本标准规定了化学气相沉积炉的要求 试验方法 检验规则及标志 包装 运输 贮存 质量证明书和 ( ) 。 合同 或订货单 内容 本标准适用于化学气相沉积。 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( ) 。 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 / — 真空技术 术语 GBT3163 2007 : 电热装置的安全 第 部分 通用要求 GB5959.1 1 : 电热装置的安全 第 部分 对电阻加热装置的特殊要求 GB5959.4 4 / — :