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耗尽层电容 求杂质分布和变容二极管

2.7 耗尽层电容 求杂质分布和变容二极管 半导体器件物理 © Dr. B. Li J. Han 势垒电容CT PN 结电容 扩散电容C D 本节主要内容:势垒电容形成的机理;导出突变 结和线性缓变结的势垒电容的计算方法;如何利用PN 结的电容求杂质分布。 半导体器件物理 © Dr. B. Li J. Han 一、耗尽近似下的势垒电容 当外加电压有△V 的变化时,势垒区宽度发生变 化,使势垒区中的空间电荷也发生相应的△Q 的变 化,如下图: −ΔQ −Q Q ΔQ P区 N区 半导体器件物理 © Dr. B. Li J. Han PN 结势垒微分电容CT 的定义为: ΔQ dQ C lim T Δ →V 0 ΔV dV 简称为过渡电容、耗尽层电容或势垒电容。 势垒电容:PN结空间电荷区空间电荷随外加偏压变 化所引起的电容。 半导体器件物理 © Dr. B. Li J. Han 1、突变结势垒电容 1 1 Q A x qN ( ) ( ) A k qN2 ε 2 ψ +VR 2 n d 0 0 0 1 ⎡ k 2N ⎤2 ε x 0 a ( + ) ⎢ ψ V ⎥ n ( + ) 0 R qN d N a ⎣N d ⎦ 1

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