2、镀膜机的基本结构.pptVIP

离子源控制器 真空计种类 BPG:热电离真空计 PEG:冷电离真空计 SC2：管道真空计 SC1：爱发科真空计 抽气以及排气硬件系统-（图1） 机械泵 油吸附塔 罗茨泵 排气管道 粗抽阀 FV阀 油扩散泵 高真空阀 高真空阀 PLC抽气以及排气软件系统（图2） 真空泵 机械泵 罗茨泵 扩散泵 机械泵 作用： 前期抽气,为达到低真空的设备.还是罗茨泵的前级泵 原理：建立在玻意耳-马涅特定律的基础上的。PV=K（P-压强 V-体积 K-温度） 罗茨泵 作用：用来提高中间压力范围的抽气量 原理：罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。 扩散泵 作用：后期抽气，为达到高真空的设备，是整个真空抽气系统的主泵。 原理：1、当油扩散泵用前级泵预抽到低于1.0Pa真空时，油锅可开始加热，沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流，热运动的气体分子扩散到蒸气流中，与定向运动的油蒸气分子碰撞。 2、气体分子因此而获得动量，产生和油蒸气 分子运动方向相同的定向流动到前级，油蒸气被冷凝，气体分子排出，即被前级泵抽走而达到抽气目的。 * 介绍O