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气体质量流量计与控制器-莱丹塑料焊接技术
气体质量流量
计与控制器
莱丹集团公司总部,瑞士
Axetris AG 公司简介
Axetris AG,莱丹集团旗下的一家公司,运用微电子机械系 计量等工作具有广泛和深厚的经验。公司倡导优秀的产品附
统(MEMS)技术设计制造的红外光源,质量流量传感器和控 加值,一贯的高品质产品,出色的技术支持,让用户最终
制器,激光气体检测模块以及微光学元件服务于OEM用户, 获益。Axetris是OEM用户可靠的分系统供应伙伴,能提供广
产 品 被 广 泛 应 用 于 工 业 , 过 程 控 制 , 环 境 , 医 疗 , 汽 车 泛的高质量的成熟产品以及从新产品概念建立到定型量产
以及电信等领域。 全过程中,特殊定制的解决方案。
Axetris在多种工业应用领域为用户提供专 业和深度的技术支持。 Axetris AG 坐落于瑞士中部,通过ISO 9001认证,遵从ISO
我们的工程设计与制造团队对于从微 型芯片级到先进电子和光电 TS 16949标准加工制造6”到8”微电子机械技术(MEMS)
模块级的仿真,设计,制造, 的晶片,同时也为外部用户提供晶片代加工服务。
2
OEM高性能超紧凑型质量流量计
广泛的应用场合 外形紧凑
从测量单一气体的超声波紧凑型质量流量计和控制器,到测量多 Axetris质量流量传感器和控制器紧凑小巧的外形尺寸可以让用
相气体的带有高度集成定制阀组的质量流量计和控制器,最新的 户方便的将其他更多的功能加入到系统中,同时又能降低整机系
AxetrisMFC2000系列产品具有非常广泛的应用场合。 统的外形尺寸和重量。
模块化的设计和广泛的应用场合使您可以将最新的流体传感和控 多种气体/多量程测量能力
制技术无缝的集成到您的产品中。 每一个模块都能被灵活的组态,用于对不同流量范围和种类的气
体进行测量,降低了部件复杂程度。
高精度和高速相应
高精度和高速相应特性使得以前无法实现的对气体进行高速精确 校准和补偿
的控制成为可能。让我们在对气体进行测量时,得以获得更高的 每一个出厂的MFM/MFC2000系列质量流量计和控制器产品都经
系统流通能力,减少载气消耗量,以及对过程参数的精确同步控 过了完全的标定和温度补偿。标定标准为NIST-traceable.
制。
被测气体种类和流量范围广
微小流量测量
MFM/MFC2000系列产品适用于绝大多数的非腐蚀性气体介质的
最新的流道设计,能对极其微小的流量进行无与伦比的稳定可靠 测量,流量从小于20sccm到3000sccm(标准工况的立方厘米每
的测量与控制。 分 钟,标准工况:P0=1.01325bar;T0=273.15K).即使更高流量
的测量要求也可以通过外部旁通来实现并满足测量要求。
高比率测量
卓越的1000:1的测量比率,能对被测对象进行更广泛的测量与
控制
技术优势
• 微电子机械系统技术(MEMS)
• 紧凑的外形尺寸
• 高精确度
• 微流量测量
• 量程调节比范围宽
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