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无损检测在溅射靶材制造中的应用.PDFVIP

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  • 2018-12-13 发布于天津
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无损检测在溅射靶材制造中的应用.PDF

    无损检测在溅射靶材制造中的应用.PDF

    综 述 　　 无损检测在溅射靶材制造中的应用 ， ， ， ， ， ， ， ， ， １２ １２ １２ １２ １２ １２ １２ １２ １２ 刘红宾 ，刘 伟 ，陈 明 ，尚再艳 ，高 岩 ，何金江 ，王欣平 ，吕保国 ，江 轩 　 　 　 　 （ 北京有色金属研究总院，北京 ； 有研亿金新材料股份有限公司，北京 ） １． １０００８８２． １０２２００ 　 　 摘 要：作为关键原材料之一，电子信息产业对溅射靶材质量要求非常严格。无损检测对于确 　 保

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