台科技大学99学第二学期质能均衡分组讨论.docVIP

台科技大學 99 學年度第學期分組討論 討論議題 西門子式多晶矽製程主要製程 主要化合物Si的歷史 CVD的介紹 題目計算 討論成果 組員姓名 意見 葉冠廷 雖然翻譯題目很多專業術語，但是用懂了感覺有一種成就感。 李紫嫻 組長好認真。 薛立成 分組討論很重要，以後如果還有要做報告，會盡早討論。 劉基偉 團隊合作的感覺真好。 胡祥彬 團隊合作的感覺真棒。 西門子式多晶矽製程 本組結論：一.探討題目 討論西門子式多晶矽製程主要製程 將已蒸餾純化之三綠化矽置於一化學氣相沈積(Chemical Vapor Deposition, CVD)反應爐中，與氫氣還原反應而析出純矽於爐中電極上。 H2 + SiHCl3 → Si + 3HCl 西門子式多晶矽製程的運用及用途?? 多晶矽西門子製程目前量產出的多晶矽主要用於半導體及太陽光電產業用，因為西門子製程所產出的多晶矽純度達99.999999999%(11個N)，不但純度要求高的半導體產業採用，就連要求沒那麼高的太陽光電產業也因為無自己的料源系統，而與半導體產業搶。 太陽光電產業成長快速，所以有很多，多晶矽製程不斷有投入者投入，但目前多晶矽純度和產出品質控制均勻度最好的仍是西門子法，所以許多新加入者寧願照舊方法投入西門子製程。 西門子式多晶矽製程時所需的設備 二 主要化合物Si的歷史 1787年，拉瓦錫首次發現矽存在於岩石中