双层石墨烯在栅压调控下的各向异性刻蚀王国乐谢立陈鹏-物理学报.PDF

双层石墨烯在栅压调控下的各向异性刻蚀 王国乐 谢立 陈鹏 杨蓉 时东霞 张广宇 Anisotropicetchingofbilayergraphenecontrolledbygate voltage WangGuo-Le XieLi ChenPeng YangRong ShiDong-Xia Zhang Guang-Yu 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,196101(2016) DOI: 10.7498/aps.65.196101 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.65.196101 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2016/V65/I19 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyoumaybeinterestedin THz谐振腔型石墨烯光电探测器的设计 DesignandperformanceanalysisofTHzmicrocavity-enhanced graphene photodetector 物理学报.2016,65(16): 168101 /10.7498/aps.65.168101 化学气相沉积法制备的石墨烯晶畴的氢气刻蚀 Hydrogenetchingofchemicalvapordeposition-growngraphene domains 物理学报.2016,65(9): 098101 /10.7498/aps.65.098101 基于石墨烯互补超表面的可调谐太赫兹吸波体 Tunableterahertzabsorber basedoncomplementarygraphene meta-surface 物理学报.2016,65(1): 018101 /10.7498/aps.65.018101 含石墨烯临界耦合谐振器的吸收特性研究 Studyontheabsorbingpropertiesofcriticallycoupledresonator with graphene 物理学报.2015,64(23): 238103 /10.7498/aps.64.238103 单层石墨烯带传输模式及其对气体分子振动谱的传感特性研究 Transmissionmodeofasinglelayergrapheneanditsperformanceinthedetectionofthevibrationspec- trumofgasmolecular 物理学报.2015,64(19): 198102 /10.7498/aps.64.198102 物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 65, No. 19 (2016) 196101 双层石墨烯在栅压调控下的各向异性刻蚀 王国乐 谢立 陈鹏 杨蓉 时东霞 张广宇 1) (中国科学院物理研究所, 北京凝聚态物理国家实验室, 北京 100190) 2)(北京纳米材料与纳米器件重点实验室, 北京 100190) 3)(量子物质科学协同创新中心, 北京 100190) 4)( 中国科学院大学物理学院, 北京 100190) ( 2016 年7 月22 日收到; 2016 年8 月12 日收到修改稿) 石墨烯纳米结构在纳电子学研究领域表现出了良好的应用前景. 氢等离子体各向异性刻蚀技术是加工石 墨烯精细纳米结构的关键技术之一, 可以实现10 nm 以下平整的锯齿型石墨烯纳米带的可控加工. 本文系统 研究了外加电场对石墨烯各向异性刻蚀效应的影响, 利用外加栅压实现了氧化硅衬底上的双层石墨烯各向异 性刻蚀速率的调控. 在30 V 栅压变化范围内, 刻蚀速率比可达45. 由此不仅可以提高大批量加工石墨烯纳 米结构的效率, 还可以实现5 nm 以下极小尺寸石墨烯纳米带的可控加工. 研究结果为石墨烯精细纳米结构器 件的高效批量加工提供了思路. 关键词: 石墨烯纳米结构, 各向异性刻蚀, 栅压