第六章 化学传感器离子敏传感器、气敏传感器、湿敏传感器.pptVIP

* 化学传感器 * 化学传感器 * 化学传感器 * 化学传感器 * 化学传感器 首先，它是具有许多开放状毛细孔的多孔陶瓷，具有对湿度敏感的特性。此外， MgCr2O4-TiO2系陶瓷具有P型半导体材料的特性。第三， MgCr2O4-TiO2系陶瓷中的尖晶石单相组成物具有MgCr2O4的同种导电特性。 介绍一下MgCr2O4-TiO2系陶瓷材料表面吸收水分的情形。可分为三个阶段分析： 第一阶段：吸湿初期（低湿），少量水蒸气在晶界面吸附形成胫基，离解后的质子向里面晶格滚动。 第二阶段：进一步吸湿（中等湿），形成水的多分子层，表面湿度增加，电阻大幅度下降。 第三阶段：晶粒界全部充满水分（高湿），电极间电解质层均匀，电阻值更加降低。 化学传感器 * 特点：在0~100%RH湿度范围内，电阻值可以变化5个数量级，而且十分平滑。 化学传感器 * 2) MgCr2O4-TiO2系陶瓷湿度传感器 陶瓷特点：耐热、化学和物理特性稳定。 结构：在湿敏材料（陶瓷）外两侧涂糊状氧化钌（RuO2），四周围绕加热丝，引线用铂-铱合金。 氧化钌与陶瓷的热膨胀系数、粘接性一致。易于水分的吸附与脱却。测湿前，利用加热丝通电使元件表面加热至450℃，以便去除表面污垢，改善传感器特性。基板污染会引起误差，应加置保护环并接地处理。 化学传感器 * 传感器的测试温度几乎可以从0RH到100RH。 由于多孔质陶瓷湿敏材料表面积大，所以湿敏传感器可以做得很小而不影响湿敏特性，体积小使得测湿响应速度较快。 由于能加热去污，传感器稳定性好、耐高温高湿和耐恶劣环境。 3）陶瓷湿敏传感器的特点 优点： a. 传感器表面与水蒸气的接触面积大，易于水蒸气的吸收和脱却。 b. 陶瓷烧结体能耐高温，理、化性质稳定，适合采用加热去污的方法恢复材料的湿敏特性。 c. 可以通过调整烧结体表面晶粒、晶粒界和细微气孔的构造，改善传感器的湿敏特性。 化学传感器 * 缺点： a.反复吸附使表面构造变化，产生滞后误差。 b.蒸气量少时，平衡时间长。 二、非水分子亲和力型湿敏传感器 1、热敏电阻式湿敏传感器 热敏电阻式湿敏传感器是利用热力学方法来测量湿度的，所以传感器响应速度快，理论上不存在滞后误差。 基本原理：空气的换热能力与湿度有关，从而改变热敏电阻的阻值。 化学传感器 * 化学传感器 * 如图所示为热敏电阻式湿敏传感器的桥路，热敏电阻R1、R2是两个臂。电源E所供电流的焦耳热使处于工作状态的R1及R2保持在200摄氏度左右的温度。R1置于经常与大气接触的开孔金属盒内，R2则置于密封的金属盒内，，两盒外形尺寸相同，但R2所在盒内封装着干燥空气。传感器处于同一温度场。R3、R4为另外两个臂，R5为调节电阻。将R1置于干燥空气中，调节电桥平衡，使输出端A、B间电压为零。当R1处于待测含湿空气中时，因含湿空气与干燥空气换热系数的差异（见图)，R1被冷却而电阻值增高，电桥平衡被破坏，从而产生B端高于A端的输出电压。 热敏电阻式湿敏传感器的测量特性受温度的影响是不言而喻的，下图从不同角度说明了温度对测量的影响。 化学传感器 * 2）性能与特点 a.热敏电阻式湿度传感器的输出电压与绝对湿度成比例，可测量大气绝对湿度。 利用空气的换热系数与温度有关的原理测量湿度，因而大气中混入其它特种气体或气压变化都会给测湿结果造成程度不同的影响。 b.传感器不用湿敏功能材料，因而不存在滞后误差。 c.理论上，传感器的测湿响应速度应该是极其迅速的，但金属盒及防护罩对含湿大气进出的置换需要一定的时间，热敏电阻从接触到待测湿气直至电阻值达到稳定值的90％，大约需要十几秒左右。 d.在较宽温度范围内调节电桥平衡相当麻烦，从而导致热敏电阻式湿度传感器成本较高。 化学传感器 * 2.红外线吸收式湿敏传感器 基本原理：水蒸气可以吸收某波长段的红外线 红外光束的光强I0，经吸收系数?、浓度C的潮湿空气后, 光强衰减为I.根据朗伯-贝尔法则，光束经过长为l的湿空气后，其光强衰减量为： 原理图如下，从光源发出的红外光经调制器调制后入射至待测空气，光束穿过待测空气后被光敏元件接收。由于?、l已知，根据上式可以测得I0、I，进而求出待测样气的浓度C。为了克服光源的光强I0的波动对测量的影响，可采用双波长结构。 化学传感器 * 图中，透过的中心波长分别为 和 的两个滤光片，不同波长的光交替通过湿空气，对接收的光强进行适当处理，即可消除光源的