精华资料传感器道理与应用主编 戴焯第六章 压电传感器.pptVIP

第六章 压电传感器 第一节 压电传感器工作原理 一、压电效应 二、石英晶体的压电效应 三、压电陶瓷压电效应 四、压电材料及其特性 第二节 压电传感器测量电路 一、压电元件及其等效电路 二、电压输出型测量电路 三、电荷输出型测量电路 第三节 压电传感器的应用 一、压电式力传感器 二、压电式压力传感器 三、压电式加速度传感器; 第六章 压电传感器 自然界里，大多数晶体都具有压电效应，只是大多数晶体的压电效应很微弱，没什么实用价值。石英晶体、人工制造的压电陶瓷、钛酸钡、锆钛酸铅（PZT)等多晶压电材料都具有良好的压电效应。 压电传感器是一种典型的有源传感器，它以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，电介质表面产生电荷，从而实现外力与电荷量间的转换，达到非电量的电测目的。 ;第一节 压电传感器工作原理 一、压电效应 某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，在介质内部将产生极化现象，而在介质的两个表面会产生数量相等、符号相反的电荷，形成电场；当外力去掉后，又重新回到不带电状态；当外力方向改变时，电场的极性也随着改变，这种现象被称之为压电效应。相反，在电介质极化方向施加电场时，这些电介质会产生变形，这种现象称之为逆压电效应，或电致伸缩效应。; 具有压电效应的电介质很多，但大多数因压电效应微弱而没有实用价值；目前具有良好压电效应的电介质有石英晶体和压电陶瓷。石英晶体的压电效应与其内部结构有关。; 二、石英晶体的压电效应 1．石英晶体切片 石英晶体即二氧化硅（SiO2），天然的石英晶体理想外形是一个正六面棱体，如图6－1（a）所示。在晶体学中，为了分析方便，把它用三根互相垂直的轴X、Y、Z 来描述。其中纵向轴Z 称之为光轴（Z 轴无压电效应），它贯穿正六面棱体的两个棱顶；X 轴称为电轴，它经过正六面棱柱的棱线且与光轴正交；Y 轴称为机械轴，它同时垂直于X 轴和Z 轴。作为电压元件，对正六面棱体的石英晶体应作切片处理，石英晶体在XYZ 直角坐标中，沿不同方位进行切片，可得到不同的几何??型，不同切型的晶片，其压电常数、弹性系数、介电常数、温度特性等都不一样。当石英晶体沿ZOY 平面切片，如图6－1（c）所示，此时电轴X 垂直于切片平面。; 2．切片内离子分布 石英晶体的分子结构是由三个硅原子和六个氧原子组成的共价键单元晶体，在共价键结构中，每个硅原子失去电子变成带四个正电荷的硅离子，每个氧原子得到电子变成带二个负电荷的氧离子，氧离子成对出现，三个硅离子和三对氧离子在X－Y 平面上的投影正好是六边形的六个顶角，如图6－2所示。 ; 当石英晶体未受外力作用时，单元晶体中的三个硅离子和三对氧离子正好连成正六边形，如图6－2（a）所示，晶体内正、负电荷的电偶极矩（其大小为P =q L ，q为电荷量，L为正、负电荷之间的距离；其方向为由负电荷指向正电荷）P1、P2、P3大小相等、互成120°夹角，即晶体内正、负电荷中心重合，电偶极矩矢量和P1+P2+P3=0，此时晶体表面不产生电荷，晶体对外呈电中性。; 当石英晶体受X 轴向压力Fx作用时，如图6－2（b）所示，晶体受压力而变形（但正六边形边长保持不变），晶体内正、负离子的相对位置发生变化，电偶极矩P1减小、P2和P3增大，电偶极矩矢量和在X 轴向分量(P1+P2+P3)x＞0，因而在垂直于X 轴正向的晶体表面上出现正电荷，其相对面上出现等量负电荷。此时电偶极矩矢量和在Y 轴和Z 轴向分量(P1+P2+P3)y=0、(P1+P2+P3)z=0，因而在垂直于Y 轴和Z 轴的晶体表面上不出现电荷。 ; 当石英晶体受Z 轴向力作用时，因Z 轴向力与片内离子平面X－Y 垂直，故不会引起离子在X－Y 平面上位移，此时电偶极矩的矢量和仍保持为0，晶体表面不会出现电荷。; 图6－3 石英晶体压电效应 （a）纵向压电效应 （b）横向压电效应; 纵向压电效应所产生的电荷量大小由下式确定： q XX = d XX FX s1/s2 （6－1） 式中 d XX —纵向压电系数，脚标中第1个X 表示电荷平面的法线方向，第2个脚标X 表示作用力的方向，其大小为d XX =2.31×10－12C·N－1。 S1=Bl 被极化面积，s2 受力面积; 三、压电陶瓷压电效应 1．压电陶瓷极化特性 压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料，它属于铁电体一类物质，即具有类似于铁磁