最新光学薄膜反射型彩色滤光片研究.pdf

浙江大学硕士论文 摘 要 随着图像技术和显示技术的发展，反射型彩色滤光片在图像传感、彩色显示、 装饰、激光方面的应用越来越受到关注。但现有的反射彩色滤光片结构复杂、制 备困难，成本高，成为其生产和应用的瓶颈。本论文提出了一种金属．介质薄膜 反射型彩色滤光片结构，利用光学薄膜理论分析了在可见光区实现高反射、宽截 止的红绿蓝三基色滤光的方法，通过改进设计和反演参数优化了滤光特性。提出 通过匹配多层介质高反射膜的相位实现多峰反射滤光的方法。本文还研究了金属 ．介质薄膜结构的彩色滤光片及其阵列的设计和工艺，制备了红绿蓝三基色滤光 片及其阵列；制备并测试了可见光双峰、三峰反射滤光片。 本文的研究工作主要包括： 1．反射型光学薄膜彩色滤光片的设计与制备。采用诱导反射原理设计了一种 膜系简单、制备容易的金属．介质反射滤光片结构。分析了各膜层对滤光片性能 的影响，反演了极薄金属薄膜的参数。实验获得的红绿蓝三色滤光片的反射 率72％、反射带较宽、色饱和度较高。 2．反射型光学薄膜彩色滤光片阵列的设计与制备。研究了镀膜、光刻、剥离 技术相结合的滤光片阵列工艺，设计了光刻掩模和彩色像素。实验制备了反射彩 色滤光片阵列，实现了介于红绿蓝三基色之间的中间色并静态显示了文字和图案。 3．反射型光学薄膜多峰滤光片的设计与制备。基于诱导反射原理设计制备 了蓝红光双峰反射滤光片；以介质反射膜堆加极薄金属膜的结构设计制备了红绿 蓝光三峰反射滤光片，通过相位匹配方法实现了无间隔层法布里．珀罗结构的三 峰滤光。 关键词：彩色滤光片，光学薄膜，金属．介质，诱导反射，滤光片阵列，多峰 thinfilmstackinit via the ofareflectivedielectric isintroduced．The matchingphase films and tofabricatean ofthesemetal-dielectricthin color designprocess array filtersisdiscussed andbluebasiccolorfiltersandthe too．Red,green arraycomposed three reflectivefilters in withthemalefabricated．Twoand peaks working peaks main asfollows： visiblealefabricatedandtestedtoO．Thecontentsale range arranged andfabricationofreflectivethin-filmscolorfilters．A and 1．Design optical simple is themethodof realizedmetal．．dielectricthin-filmsstructure easy designedthrough influencethefilter’S charactersof thinfilmis inducedreflection．Theto