扫描电化学显微镜技术需求.docVIP

扫描电化学显微镜技术规格 仪器用途和功能 仪器系统组成 2.1、通用样品台定位扫描系统一套 2.2、常规扫描电化学显微系统(SECM)一套 2.3、交流接触扫描技术的扫描电化学显微系统(ac-SECM)一套 2.4、间歇接触式扫描技术的扫描电化学显微系统(ic-SECM)一套 2.5、微区电化学阻抗测试系统(LEIS)一套 2.6、扫描开尔文探针测试系统(SKP)一套 2.7、扫描振动探针测试系统(SVP)一套 2.8、直流和交流电解液微滴扫描系统(SDS和ac-SDS)一套 2.10、10μm/15μm/25μm各2支 2.11、MICROTRICELL微型电解池一个，TRI-CELL电解池一个 2.、扫描电化学控制软件包 一套 2.、3D图形处理软件包 一套 3、仪器配置与技术参数要求 3.1 通用样品台定位扫描系统 ★3.1.1、轴向（x、y、z）扫描范围：≥ 10mm 3.1.2、扫描驱动分辨率：≤ 10 nm ★3.1.3、轴向（x、y、z）分辨率：≤ 20 nm 3.1.4、最大扫描速度：10 mm/s 3.1.5、扫描探针压电振动范围：20nm2μm 3.1.6、扫描探针压电振动控制分辨率：≤ 0.15 nm 3.1.7、扫描探针压电振动定位分辨率：≤ 0.1 nm 3.2、交流接触和常规扫描电化学显微系统(ac-SECM和SECM) 3.2.1、恒电位仪施加电位及