EDI应用于半导体制造业水回用.docVIP

EDI应用于半导体制造业水回用系统的评估 摘要： 半导体制造业中，为了减少用水量和废水排放量，水的回用是一个非常具有吸引力的选择。然而，制造业中冲洗水回用率达50％以上的系统通常需要包含回用水的预处理，这通常是用离子交换床将它转换成RO产品等级的水。同时，回用水也可用RO处理使之成为超纯水，但这需大容量的RO系统，可能引入的大量的硫酸盐（原水中有大量的钙盐），增加了设备的投资量，并且要排放达40％的废水。 EDI装置应用了电除盐和离子交换树脂，不需任何化学再生，已应用了很多年来代替离子交换工艺。它在这方面的应用已广为人知，正在出版很多文章来阐述它的优点。 制造业中冲洗水的性质并非广为人知，因此EDI在回用水中的应用也鲜为人知。然而，随着INTERNATIONAL SEMATSCH和SANDIA NATIONAL实验室的成果，人们增进了大量的对回用水的认识。依现在的观点，少量努力即可获得90％以上的水回收率，也就同时减少了水的用量和废水的排放量，并获得显著的投资节省。这篇论文论述了EDI应用于已采用离子交换处理回用水的系统中的结果。新的水回收率和经济性说明了应用这一技术的优越性。 导论： 很多年来，半导体工业中节水的努力集中在将超滤、反渗透和冲洗工艺中不可避免的费水用于洗涤塔、结晶器和园林灌溉。近来，制造业正在回用（返回制造工艺，而非简单的费水利用）更大量的水