真空系统运行手册.ppt

* SUNIST运行手册 真空系统 2003年3月 SUNIST实验室 清华大学工程物理系 SUNIST 真空 真空系统运行手册 SUNIST的真空系统 获得 充气 检漏 壁处理 SUNIST 真空 真空系统 SUNIST真空系统框图 SUNIST 真空 真空系统 SUNIST真空系统 真空获得系统（P）由1200升/秒涡轮分子泵作为真空室抽气的主泵，200升/秒溅射离子泵做真空室的维持泵。为了增强抽气系统使用的机动性，在主、维持泵系统分装了旁通阀泵。可在不影响真空室真空的情况下，为外接系统提供低、高真空抽气的接口。 主泵 （TMP）— 涡轮分子泵、前级泵（RP）— 旋片泵、维持泵 — 溅射离子泵（SIP） 主阀 — CF200插扳阀（VP01）、维持阀 — CF150插扳阀（VP05）、前级阀 — 蝶阀（VP02）、主泵旁通阀 — CF35角阀（VP03）、维持泵旁通阀 — KF40角阀（VP04） 真空测量系统（M）包括真空室总压、分压测量、真空室检漏。采用的电离规与电阻规、热偶规量程分为10-5 — 100、10-1 — 105 Pa， 电容规量程10-3 — 10 Pa。真空测量规管与充气用的压电阀一起装在主、维持泵抽气管道的四只四通歧管上，歧管通过金属垫圈密封法兰连在抽气管两侧。有的歧管上还装有氟胶圈密封角阀，用以确保无论在更换规管等元件时、还是重新接入真空室，真空状态均不受影响。 真空规管（G）— 主泵侧：电离规（G05）、电阻规（G04）、四极质谱探头（RGA） 维持泵侧电离规（G01）、热偶规（G02）、电容规（G03） 阀门（V）— 主泵侧南（VM02）、北歧管（VM01）角阀，南（VM04）、北（VM03）歧管旁通角阀，维持泵侧歧管阀（VM05）、（VG01） 仪器 — 自动压强控制器（APC）、复合真空计、电容规测量单元、四极质谱检漏仪（LD） SUNIST 真空 真空系统 真空充气系统（G）工作气体由超纯氢发生器提供，清洗用的高纯氮、氦用钢瓶，现场膜沉积使用小中压气瓶提供。每条充气线:包括气源阀门、缓冲气罐、气瓶抽气歧管阀门、压电充气阀。 阀门 — 系统抽气阀（VG11），气源阀（VG8）、（VG09）、（ VG10 ），缓冲罐抽气阀（ V G05）、（ VG06 ）、（ VG07 ），压电阀（VG02）、（VG03）、（VG04） 超纯氢发生器（SPH）钢瓶（B1）、 （B2）、缓冲气罐（T1）、 （T2）、 （T3），缓冲气罐负压表（M1）、（M2）、（M3），脉冲充气电源 充气控制 — 手动和真空室压力反馈控制（APC 各一路）、手动或脉冲充气电源（两路） 壁处理系统 包括烘烤、辉光放电和硅化膜现场沉积。 烘烤 — 使用居里点160OC的正温度系数陶瓷电阻（PTC）作加热元件，用高温导电环氧胶把PTC元件粘接在真空室外表面。PTC元件另一面粘一铜电极，供电电压110V。每半真空室分？路供电，，每路并联？支PTC元件。每路PTC元件安装一启动按纽，以使每路PTC元件的最大电流状态分开出现。用保温被覆盖整个真空室表面。 辉光放电 — 每半真空室安装一电极作辉光放电清洗的阳极，阴极室真空室。最高阳极电压为1000 V，每路电流不大于500 mA。 膜沉积 — 在氦气辉光放电时，掺入硅烷，实现在真空室壁上沉积硅化薄膜。 SUNIST 真空 真空系统 真空系统的运行原则 SUNIST真空室超高真空状态的维持，使用合适的壁处理手段进一步调控真空室壁的特性，是进行有意义的等离子体实验的必要条件。达到以上目的必需遵循的运行原则包括： 真空室的压力和状态的高水平维持是运行操作中的最高原则 关键的设备、元件不能受到任何操作动作的伤害 在进行任何操作动作前，必需要考虑好操作动作的程序和每一不程序所可能关联的对系统状态的影响 在开关与真空室有可能发生关联的阀门时，必需首先检查有关阀门的位置、系统不同部位所处的压力。在确认不可能发生影响真空室真空状态的后果后，在实施操作动作。 SUNIST 真空 系统运行 真空获得 启动主泵（涡轮分子泵 — TMP） 从大气或高真空室残压状态启动TMP 例行检查 检查冷却水量、真空室主要阀门位置（见附表） 记录真空室压力（G04 ＞100 Pa） 进入待命状态 开前级泵（RP）电源 开前级阀（VP02） 根据需要开启需预抽系统的阀门 启动 开启主泵（TMP）电源、冷