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试验十七电容测量系统静态特性参数的测试及应用.doc

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试验十七电容测量系统静态特性参数的测试及应用

实验十七 电容测量系统静态特性参数的测试及应用 实验目的 1.掌握电容测量系统静态特性参数的测试和数据处理方法; 2.了解电容传感器测量位移、介质的介电常数和介质层厚度的工作原理; 3.熟悉电容传感器与电容测微仪的使用方法。 二、实验原理 (一)电容传感器的工作原理 传感器为一个平板,被测件为另一个平板。它们构成了一个平行板电容器,电容与极距、介电常数、极板面积之间的关系为:。 (17-1) 其中 — 两极板间介质的介电常数 — 极板面积 — 两极板间的距离 — 传感器电容 一般测头是直径为的圆柱体,其端面积,其实物如图17-1。 故有: (17-2) 可见,电容C与极距之间为非线性变化关系。 为了有效解决非线性的问题,采用运算法(线性化)电容式测微仪,其原理方块图如图17-2所示: 根据运算线路的原理则有: 其中, --------灵敏系数(当量数) 从图中可以看到,采集到的电压值可以通过12位的A/D转换,并通过USB接口送入计算机进行处理。整个系统的框图如17-3所示。表17-1为电容传感器性能参数。 直径(mm) 示值范围(μm) 分辨力(μm) 线性度(F.S.%) 精度(μm) 安装外径 φ3 ±50 0.01 0.8 0.04 φ8(常用) φ9.8 ±500 0.1 0.9 1 φ28 (二) 电容测微系统 JDC非接触式电容测微仪是由电容传感器、以及组成的所示 图17-4 测试系统实物 电容传感器运算路的原理如图所示。根据反馈放大器原理,当放大器的开环增益和输入阻抗足够大时,放大器的闭环输出为: ——传感器电容的阻抗——固定电容的阻抗 —— 信号源电压把、代入,有 (17-4) 上式中,由于为常量,因此输出电压与传感器两极板间距离为线性关系。 运算式线路的主要特点是: 1 由于输出电压与之间为线性关系,故而从原理上消除了非线性关系所带来的影响,整机的非线性误差小,测量精度高。 2 输出电压与的比值有关,且由于电缆的分布电容可以通过采用“驱动电缆技术”而加以基本消除,因此传感器的电容可以很小,即也可以把测头直径做得很小。9.8JDC型电容传感器 一个 2.微动测量台架 一台 如图17-6为一台装有电容传感器的BCT-1C/5C微动台架。 微动测量台架分1:10(BCT-1C)和1:50(BCT-5C)两种,微动测量台架的微动部分是由两个带有斜面(1:10或1:50)的上、下微动快和微分装置所组成,其用途很广,可以代替块规检定电感比较仪、浮标式气动量仪、扭簧比较仪等仪器,也可以用来测量厚度、高度等参数。         规格型号  技术参数 BCT-5C BCT-1C 刻度值 0.2μm 1μm? 测量范围 0~0.4mm 0~2mm 测量误差 ±0.12~0.2μm??? ±0.5~±3μm??? 装卡孔尺寸 Φ28H7、Φ8H7 重量 8kg 外形尺寸(长×宽×高) 220×55×281mm 其中,电容测微仪的前、后面板示意图如图17-7: (1) LED 显示器,显示的是电压值,单位mv,如果调整得当,可以直接将其读成位移值; (2) 调零电位器,偏差测量时,用于调零; (3) 传感器输入端,被测信号由此输入整机; (4) 电源开关; (5) 电源插座 220伏50HZ的输入端; (6)保险丝;(7) 大地端子(黑接线柱); (8) 主放大器输出端子(红接线柱);(9) 动、静态模拟量电压输出(0-10v或-5~+5v); (10) 12位或16位USB接口或RS232串口与笔记本或计算机通信接口。 4.计算机 一台 5.示波器 一台 6.标准量块 一块 7. 被测介质(薄膜或纸张) 数张 8. 被测液体水

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