薄膜1-.pptVIP

薄膜材料由于其在微观结构、宏观性能等方面所具有的特殊性, 在科学技术发展和人们的日常生活中发挥着越来越重要的作用。 薄膜材料研究不仅吸引了为数众多的科技工作者, 而且受到各国高技术产业界的广泛关注。 薄膜材料研究已经渗透到物理学、化学、材料科学、信息科学乃至生命科学等各个研究领域, 薄膜科学已经逐渐发展成为一门多学科交叉的边缘学科。 从人类开始制作陶瓷器皿的彩釉算起, 薄膜的制备与应用已经有一千多年的发展历史。 从制备技术、分析方法、形成机理等方面系统地研究薄膜材料则起始于上世纪五十年代。 直到上世纪80年代, 薄膜科学才发展成为一门相对独立的学科。 促使薄膜科学迅速发展的重要原因是薄膜材料的强大的应用背景、低维凝聚态理论的不断发展和现代分析技术的出现及分析能力的不断提高。 薄膜科学的研究内容： 薄膜生长理论和薄膜制备技术； 薄膜的结构、成分和微观状态； 薄膜的宏观特性及其应用。 （7）平板显示器件： 液晶显示、等离子体显示、电致发光显 示ITO透明电极，ZnS:Mn发光膜 （8）ZnO、Ta2O3、AlN表面声波元件 （9）磁记录薄膜与薄膜磁头，CoCrTa、 CoCrNi，FeSiAl、巨磁阻材料 （10）静电复印材料Se-Te、SeTeAs、a-Si 光学薄膜： （1）减反射膜：相机、摄像机、投影仪、 望远镜等MgF2，SiO2，ZrO2，Al2O3 红外设备镜头上的ZnS，CeO2，SiO （2）反射膜：太阳能接收器、镀膜反射镜、 激光器用的高反射率膜 （3）分光镜和滤波片：如彩色扩印设备上 （4）镀膜玻璃：建筑、汽车隔热 （5）光存储薄膜：光盘、唱片 Te81Ge15S2Sb2，TbFeCo （6）集成光学元件与光波导中 的介质薄膜与半导体薄膜 磁性薄膜： 硬盘，内存，磁带…… 保护膜： （1）硬质膜，刀具、磨具表面的TiN，TiC， 金刚石、C3N4，c-BN （2）耐腐蚀膜，非晶镍膜，不锈钢膜，抗 热腐蚀的NiCrAlY等 （3）润滑膜 MoS2，MoS2-Au，MoS2-Ni， Au，Ag，Pb 薄膜材料研究进展 （1）新型半导体薄膜：GaN，SiC， ZnO，Diamond，GeSi，a-Si:H 改进工艺，降低成本，研究新的应用 （2）超硬薄膜：Diamond，c-BN，C3N4 BCN （3）纳米薄膜材料 （4）超晶格和量子阱薄膜 （5）无机光电薄膜材料：III-V，II-VI （6）Spintronics薄膜、稀磁半导体薄膜 ZnO:Mn，GaN:Mn，GaAs:Mn （7）有机薄膜微电和光电材料（OLED) 需要提高效率和可靠性 （8）High-K、Low-K材料?更快的速度、 更高的集成度、更低的能耗，含氟氧 化硅、Hf02、Zr02 （9）高温超导和巨磁阻 （10）有机薄膜及有机-无机混合薄膜 （11）新型薄膜… 薄膜的内应力 晶格常数失配，热膨胀系数失配 压应力、张应力 本征应力: 由于薄膜中缺陷的存在 非本征应力：由于薄膜和衬底之间 应变能： 厚度d，弹性模量E，内应力s 可以估算膜厚 SiC/Si ?应变硅 作业：查阅一篇（英文）有关薄膜(thin film)的文献。 * 作图说明 * 有意见才有改进 单层石墨，可用于做sensor，微电子器件等 * a–d, Digital camera images of graphene oxide paper. a, 1-m-thick (the Northwestern University logo is beneath the paper); b, folded 5-m-thick semi-transparent film; c, folded 25-m-thick strip; d, strip after fracture from tensile loading. e–g, Low-, middle- and high-resolution SEM side-view images of 10-m-thick sample. * 蓝光LED的主要结构 * * 薄膜太阳能电池(1微米)与Si太阳能电池(100微米)的比较 * 台阶式能带填充 * 量子限域效应和极化效应共同影响薄膜的发光特性 * 可用同一种材料获得不同的电导率 * 完全不同的薄膜材料形成异质结