后清洗操作规范.pptx

后清洗操作规范一.生产准备 操作人员必须穿戴无尘服，无尘鞋，无尘帽，口 罩遮住鼻梁，戴双层手套。1.打开传递窗，确认此批次数量与流程单数量一致，（25片/盒，25*盒子数+半盒数量＝流程单数量 。）传递窗两边不能同时打开，有疑问可通过电话通知上道工序. 传递窗不用时呈关闭状态，打开传递窗确认数量是否与流程单数量一致。二，领料注意：传递窗严禁两边同时打开，如果有疑问可通过电话联系上道工序人员。2.确认数量一致，每次取两盒放在待上料桌面。 一次只能拿两盒，严禁一次拿四盒，以免在操作中失误造成不必要的损失。3.每批次抽取四片测试其重量，并将数据输入电脑，将四片依次分别放在一，三，五，七道 测片时在放入电子秤时要竖立硅片进入，倾斜会使硅片碰撞电子秤边缘导致碎片，放入后把电子秤的门关上记录数据。倾斜度太大容易撞到电子秤边缘三.上片1.将待刻蚀的片子扩散面朝上放在上料板上，上片人员平行将硅片抽出，稳放在滚轮中间。 硅片在抽出片盒时如果倾斜会造成划痕或因用力不均造成碎片。 硅片倾斜会碰到滚轮边缘容易造成碎片四.卸片1.将扩散面朝向片盒有扩散面标识的一面，一次拿两片，（多）单片插入片盒内。卸满一盒平稳提起片盒，以免太重造成碎片。一次拿太多插不进去容易造成碎片和划痕操作中严禁用手捏两面，以免造成脏片2.刻蚀后测试其重量和绝缘电阻,按上片顺序测试其重量，输入电脑，拿一片测试绝缘电阻。五.填写流程单，送片1.流程单数量确认和产出数量一致，腐蚀厚度和绝缘电阻值填写完整，准确产出数量未填写2.送片，将整批次送入下道工序，推车保持平衡，稳速 拉车如果有拐弯容易失去平衡，造成硅片内部受力而隐裂 THE END！ THANKS！