第2章 传感器基本理论(2012-10-31).ppt

第二章 传感理论基础 2.1 传感器涉及的基础理论 2.2 自然规律与传感器 2.3 传感器的基础效应 2.4 传感器的新型敏感材料 2.1 传感器涉及的基础理论 1．传感技术正在成为多学科交汇点 2. 自然规律是传感技术的理论依据 自然界普遍适用的自然规律； 物质相互作用的效应原理； 实现效应的功能材料； 相关技术学科的前沿技术。 2.2 自然规律与传感器 2.2.1 守恒定律 2.2.2 场的定律 2.2.3 物质定律 2.2.4 统计物理学法则 2.2.1 守恒定律 伯努利方程（关于密封管路中无粘性流体流动的能量守恒定律）：流体在忽略粘性损失的流动中，流线上任意两点的压力势能、动能与位势能之和保持不变。 2.2.1 守恒定律 皮托管：1732年由法国工程师皮托首创，至今仍是测量流速的常用仪器。皮托管是用来测量运动流体内任一点流速的仪器。 2.2.2 场的定律 法拉第首先提出了磁力线、电力线的概念，在电磁感应、电化学、静电感应的研究中进一步深化和发展了力线思想，并第一次提出场的思想，建立了电场、磁场的概念。 2.2.2 场的定律 所谓物理场是指某一空间范围及其各种事物分布状况的总称。 场的定律，都是关于物质作用的客观规律。这些规律所揭示的是物体在空间排列和分布状态与某一时刻的作用有关的客观规律，一般可用物理方程给出。这些方程就是某些传感器工作的数学模型，而与这些定律有关的参数通常与具体物质的内部结构（如成分、材料）无关，与物质在空间的位置及分布状态与某时刻的作用有关。 2.2.2 场的定律 电磁感应定律指出：导体回路中感应电动势的大小与穿过回路的磁通量的变化率成正比。 当线圈以速度v垂直于磁场运动时，由于切割磁力线，在线圈中产生与运动速度成正比的感应电动势： 自感式传感器、互感式传感器、感应同步器和电涡流式传感器等，可用来测量位移、运动速度、振动等多种物理量。 2.2.2 场的定律 利用静电场的有关定律制成电容传感器。静电场中两平行电极板间的电容量C为： 两极板相对移动Δδ时，C的变化量： 2.2.2 场的定律 利用场的定律构成的传感器，其性能由定律决定，与使用材料无关。 这类传感器的形状、尺寸等参数决定了传感器的量程、灵敏度等性能，因此这类传感器统称为结构型传感器。 它们具有设计的自由度较大、选择材料的限制较小等优点，但体积一般较大，并且不易集成。 2.2.3 物质定律 物质定律是指各种物质本身内在性质的定律、法则、规律等。它们通常以固有的物理常数加以描述。如胡克定律，欧姆定律等。这些定律都含有物质所固有的常数，即定律是定义各种物理常数的公式。 利用各种物质定律构成的传感器统称为物性型传感器。这些传感器的主要性能在很大程度上受相应的物理常数或化学、生物特性所决定，也即与物质的材料密切相关。 2.2.3 物质定律 利用半导体物质具有的压阻、热阻、光阻、湿阻和霍尔等效应，可以分别制成力、压力、温度、光强、湿度和磁场等传感器； 利用压电材料所具有的压电效应可制成压电式、声表面波和超声波等传感器； 利用生物、化学敏感特性制成的生物、化学传感器等。 霍尔（Hall）效应 当电流垂直于外磁场的方向通过导体或半导体薄片时，在薄片垂直于电流和磁场方向的两侧表面之间产生电位差的现象，称为霍尔效应。 霍尔效应检测直流电流 2.2.3 物质定律 由于利用物质定律的物性型传感器具有构造简单、体积小、无可动部件、反应快、灵敏度高、稳定性好、易集成等特点，因此是当代传感技术领域中具有广阔发展前景的传感器。 与物质所固有的物理常数有关的各种现象可分为三大类：热平衡现象、传输现象和量子现象。 2.2.4 统计物理学法则 热平衡与传输现象等热力学规律是热现象的宏观理论，统计物理学是从物质的微观结构出发，即从组成它们的原子、分子等微观粒子的运动及其相互作用出发，去研究宏观物体热性质的科学。 统计物理学认为：所有宏观上可观测的物理量都是相应微观量的统计平均值，许多看似杂乱无章的微观运动表现出统计规律性。 2.2.4 统计物理学法则 奈奎斯特定理：由统计物理可知，电子热运动的涨落，在电阻R的两端产生热噪声的电位波动，电阻R两端的热噪声电压Un的方均值为： 热噪声型热敏电阻：测温精度高（0.1～0.5％），测量1500℃以下的温度，可在恶劣环境下使用； 输出电压极小，例如当T＝300K，R＝100Ω，△f＝100kHz时，输出电压只有4×10-7V。 2.2.4 统计物理学法则 由于热噪声的频带宽度不易正确测定，因此目前多采用与基准噪声电压相比较的方法来测量温度。 2.2.4