高精密扫描隧道显微镜及原子力显微镜研制汇.pdfVIP

摘要 摘要 扫描隧道显微镜和原子力显微镜是扫描探针显微镜家族里应用最为广泛的 两种显微镜。它们拥有原子分辨、原子搬运、纳米微加工等共同的功能性特征， 但因二者的工作原理的不同，它们得到的结果所反映的样品表面信息是完全不同 的。扫描隧道显微镜测量的是样品表面的电子态，它得到的结果反映的是样品表 面的电子态分布的信息。虽然具有原子分辨率，但扫描隧道显微镜并不能测量到 样品的真结构。 而原子力显微镜测量的是探针原子与样品原子之间的相互作用力，因而它得 到的图像反映的是样品表面真实的原子排列信息，即：样品的真结构。但，原子 力显微镜不能测量到可与理论比较的电子态的信息。所以扫描隧道显微镜和原子 力显微镜是互补的。 目前世界上商业和自制的扫描隧道显微镜和原子力显微镜非常多，也已经很 成熟，但绝大部分都需要在高电压(高于lOOV)的条件下才能工作，原因在于 他们用于粗逼近(进针)的压电步进马达需要高压才能工作。使用高电压就必须 要使用诸如高压运算放大器，高压三极管等高压元器件，这就带来了漏电流大、 精度低、噪音大、温漂大等一些列的缺点，同时高电压的使用也带来了高成本和 高不安全因素。而且这些在高电压下工作的压电步进马达大多体积比较大、结构 与控制复杂，因而基于这些步进马达而设计的扫描探针显微镜镜体的体积就比较 大，也比较复杂，这些因素都不利于将他们集成为一体以及植入到各种极端环境 中。 为了克服以上的缺点，我们在世界上首次提出了全低压扫描隧道显微镜的概 念，发明了纵横转置横向隧道结调节技术，彻底的放弃了高压，从而避免了因高 压的使用而带来的各种缺点与危害。传统技术利用的是压电扫描管的轴向压电位 移(单位低压产生的位移值较小)来产生惯性步进(粗逼近)，这就需要用高压 才能产生足够大的惯性力，从而克服摩擦力，产生步进。为了能在低压(小于工 业标准低压器件的电源电压15V)下实现粗逼近，我们利用压电扫描管切向位移 远大于轴向位移的特点，把传统扫描探针显微镜的探针一样品结转90。(横过来) 使用，在此纵横转置横向隧道结调节技术的基础上研制成功了能在低电压(4V) 下行走的惯性步进马达，从而在世界上第一次实现了全低压下工作的扫描隧道 显微镜(也适用于其它扫描探针显微镜)，在室温大气条件下采用剪刀剪切的铂 铱合金探针就获得了可与低温超高真空条件下使用电化学腐蚀的钨针相媲美的 极清晰石墨原子图像(原始数据)。在我主持开发的纵横转置扫描隧道显微镜基 杭州网站优化杭州网站优化 // 包装设计包装设计// 摘要 础上，改进版(由庞宗强完成)的惯性马达能够在全低压的环境下进行二维方向 的步进，基于此马达的扫描探针显微镜能够实现大范围无间隙原子精度的搜索成 像(可搜索样品表面稀少但重要的缺陷、器件等)。 纵横转置横向隧道结调节技术采用两个扫描管并列固定在同一个基座上，二 者之间的间距在一个毫米以内。因为两个扫描管是完全相同的，因而在压电扫描 管的轴向方向的热漂移得到极大的补偿(抵消)，同时两个全同扫描管的并列站 立的结构也补偿了外界的干扰对隧道结的影响。本结构中决定热漂移的因素是两 个扫描管之间的基座，但我们采用的是蓝宝石基座，他的导热性能非常好，热胀 系数也很小，同时两个扫描管的相邻两面之间的间距不到lmm，因而基座的热胀