传感器原理及应用第八章第四节和第五节.pptVIP

 普通高等教育“十一五” 国家级规划教材传感器原理及应用(第3版) 王化祥 张淑英 编著 第8章 固态传感器 §8-4 气体传感器 随着近代工业的进步，特别是石油、化工、煤炭、汽车等工业部门的迅速发展，使人类的生活以及社会活动都发生了相应的变化。被人们所利用的和在生活、工业上排放出的气体种类、数量都日益增多。这些气体中，许多都是易燃、易爆(例如氢气、煤矿瓦斯、天然气、液化石油气等)或者对于人体有毒害的(例如一氧化碳、氟里昂、氨气等)。它们如果泄漏到空气中，就会污染环境、影响生态平衡，甚至导致爆炸、火灾、中毒等灾害性事故。为了保护人类赖以生存的自然环境，防止不幸事故的发生，需要对各种有害、可燃性气体在环境中存在的情况进行有效的监控。 传感器原理及应用 气体敏感元件就是能感知环境中某种气体及其浓度的一种装置或者器件。气体传感器能将气体种类及其与浓度有关的信息转换成电信号(电流或者电压)。根据这些电信号的强弱就可以获得与待测气体在环境中存在情况有关的信息，从而可以进行检测、监控、报警;还可以通过接口电路与电子计算机或者微处理机组成自动检测、控制和报警系统。气体敏感元件的主要类型如表8-5所示。 本节主要介绍接触燃烧式气敏元件、金属氧化物半导体气敏元件，以及氧化锆氧敏元件的工作原理、主要类型，最后对气体传感器的应用作一简单介绍。 传感器原理及应用 一、接触燃烧式气体传感器 (一)检测原理 可燃性气体(H2、CO、CH4等)与空气中的氧接触，发生氧化反应，产生反应热(无焰接触燃烧热)，使得作为敏感材料的铂丝温度升高，电阻值相应增大(由于金属铂具有正的温度系数，当温度升高时，其电阻值相应增加，并且，作为温度—电阻率关系，在温度不太高时，具有良好的线性关系)。一般情况下，空气中可燃性气体的浓度都不太高(低于 10?%)，可燃性气体可以完全燃烧，其发热量与可燃性气体的浓度有关。空气中可燃性气体浓度愈大，氧化反应(燃烧)产生的反应热量(燃烧热)越多，铂丝的温度变化(增高)越大，其电阻值增加的就越多。因此，只要测定作为敏感件的铂丝的电阻变化值(ΔR)，就可以检测空气中可燃性气体的浓度。 传感器原理及应用 表8?5 主要类型的气敏元件名称检测原理、现象具有代表性的气敏元件及材料检测气体半 导 体 气 敏 元 件电 阻表面控制型SnO2、ZnO、In2O3、WO3、V2O5 有机半导体、金属、酞菁、蒽等可燃性气体、CO、C?Cl2?F2、NO2等体控制型γ?Fe2O3、α?Fe2O3、CoC3、Co3O4、In1?xSrx、SrSnO3、TiO2、CoO、CoO?MgO、Nb2O5等可燃性气体O2(空燃比)二极管整流作用Pb/CdS、Pb/TiO2、Pd/ZnO、Pt/TiO2、Au/TiO2、Pd/MoSH2、CO、SiH4等FET 气敏元件二极管栅极以Pd、Pt、SnO2为栅极的MOSFETH2、CO、H2S、NH3静电电容高分子感湿膜MOSFETH2O固 体 电 解 质 气 敏 元 件电池、电动势CaO?ZrO2、Y2O3?ZrO2、Y2O3?TiO2、LaF3、KAg4I5、PbCl2、PbBr2、K2SO4、Na2SO4、β?Al2O3、LiSO4?Ag2SO4、K2CO3、Ba(NH3)2、SrCe0.95、Yb0.05O3O2、卤素、SO2、SO3、CO、NOx、H2O、H2混合电位CaO?ZrO2、Zr(HPO4)2·nH2O，有机电解质CO、H2电解电流CaO?ZrO2、YF6、LaF3O2电流Sb2O3·nH2OH2接触燃烧式燃烧热(电阻)Pt丝+催化剂(Pd、Pt—Al2O3、CuO)可燃性气体电化学式恒电位电解电流气体透过膜+贵金属阴极+贵金属阳极CO、NO、SO2、O2伽伐尼电池式气体透过膜+贵金属阴极+贱金属阳极O2、NH3 传感器原理及应用 但是，使用单纯的铂丝线圈作为检测元件，其寿命较短，所以，目前实际应用的检测元件，都是在铂丝圈外面涂覆一层氧化物触媒。这样既可以延长其使用寿命，又可以提高检测元件的响应特性。接触燃烧式气体敏感元件是由图8-85所示的桥式电路构成的。图中F1是检测元件;F2是补偿元件，其作用是补偿可燃性气体接触燃烧以外的环境温度变化、电源电压变化等因素所引起的偏差。接触燃烧式气体敏感元件工作时，要求在F1和F2上经常保持一定的电流通过(一般为100～200 mA)。以供可燃性气体在检测元件F1上