传感器原理与应用 2课件.pptx

第六章湿度传感器6.1概述湿度传感器6.26.36.46.5电阻式湿度传感器电容式湿度传感器其它类型湿度传感器湿度传感器的应用实例6.1.16.1.2湿度表示法湿度传感器的分类一、绝对湿度和相对湿度空气的绝对湿度（ρv）----单位体积内空气里所含水蒸气的质量。如待测空气是由水蒸气和干燥空气组成的理想混合气体，得出：ρv = e M/RT e 为一定温度下空气中水蒸气的分压，M为水蒸气的摩尔质量，R为理想气体常数饱和蒸气压（eS）---指一定温度下混合气体中所含水蒸气压的最大值温度越高，饱和水蒸气压越大。相对湿度（Relative Humidity）----指某一温度下水蒸气压同饱和蒸气压的百分比，为:RH = e/eS×100%一般用 %RH 表示二、露（霜）点-----随环境温度降低，水的es逐渐下降，其e与同温度下的es差值就越小。当下降到某一温度时，e = es相等，空气中的水蒸气将向液相转化而凝结为露珠，这一特定的温度被称为空气的露点温度。 90%RH 80%RH 70%RH 60%RH 50%RH 40%RH 30%RH 20%RH10%RH5040302010 其相对湿度为100%RH，----如这一特定温度低于0℃，水蒸气将会结霜，可称为霜点温度，统称为露点。空气中水蒸气压越小，露点越低，可用露点表示空气湿度的大小。露点（ C)露点与相对湿度有对应关系如图:1020304050-100温度（ C)温度-相对湿度-露点的对应关系6.1.16.1.2湿度表示法湿度传感器的分类一、电阻式湿度传感器---利用电导率与湿度的关系制成。材料种类：1.多孔陶瓷材料的种类最多，有：TiO2-SnO2系、TiO2-V2O5 系、 BaTiO3-SrTiO3系、TiO2系、MgCrxO4-TiO2系、SrTiO3系、La2O3-TiO2-V2O5系、ZrO2-Y2O3系等。2.高分子电阻型的主要材料:高分子固体电解质材料， 如高氯酸锂-聚氯化乙烯、Nafion膜、双二甲胺基甲基乙烯基硅烷和溴甲烷的季铵化物共聚物、四乙基硅烷的等离子共聚膜等等。优点:具有感湿灵敏度高、线性度好、响应时间短、工艺简单、成本低等。二、电容式湿度传感器----利用电极间介质吸附水蒸气时电容量发生变化制成按照极间介质分为：有机高分子和陶瓷材料两大类。1.有机高分子电容式：醋酸纤维素及衍生物为介质，目前醋酸丁酸纤维素、聚酰亚胺、硅树脂为介质。2.陶瓷电容式：用玻璃和陶瓷如BaTiO3-BaSnO2 P型半导体多孔陶瓷材料作介质，通过控制陶瓷组分的分散性、孔径、粒度等，改善了组件的敏感特性。三、其它类型湿度传感器新型湿度传感器有：1.透光量随湿度而改变的光纤湿度传感器、2.在H2O-N2气氛下稳定化ZrO2限界电流型湿度传感器3.浓差电池式、4.二极管型、5.石英振子式、6.SAW式、7.微波式、8.热导式等。6.1概述湿度传感器6.26.36.46.5电阻式湿度传感器电容式湿度传感器其它类型湿度传感器湿度传感器的应用实例6.2.16.2.2 6.2.3陶瓷电阻式湿度传感器热敏电阻绝对湿度传感器 高分子电阻式湿度传感器 一、TiO2—SnO2系复合氧化物半导体陶瓷湿度传感器 多为厚膜组件 制备方法:TiO2可采用Ti的热氟化法或TiCl4还原性制作，由于非化学量而存在氧缺陷（表示TiO2-x）。将TiO2、SnO2按一定摩尔比配料，掺入适量的Ta2O5或Sb2O5、V2O5等，经研磨细化、加水悬浮、过滤使氧化物颗粒逐渐沉淀到绝缘陶瓷衬底上，烘干后加热至950～1200℃在缺氧气氛中烧结。 制作的TiO2湿敏材料为金红石结构的n型半导体多孔陶瓷，随着Ta2O5、Sb2O5的增加电阻下降，调整TiO2、SnO2的配比和杂质的量来控制湿阻特性。组件中毒后可加热清洗来恢复。特点：具有气敏性能，可制成多功能传感器。 具有灵敏度高、响应快、稳定性好、工艺过程容易实现等。二、 TiO2系陶瓷湿敏元件 水分子吸附在n型TiO2表面会引起表面空间电荷区内空穴浓度增108107加，电阻率下降，随湿度增加而显著下降。106105R(Ω)TiO2湿敏元件的湿滞特性如图，104显然，湿滞现象可忽略不计，响应103速度快。102 020 40 60 80100 相对湿度（%RH）TiO2湿敏组件的湿滞曲线及湿敏特性 三、TiO2—V2O5湿敏元件 工艺：用典型陶瓷工艺在1000～1350℃烧结后自然冷却，用RuO2或Ag107106 105制作电极。 其中V2O5添加剂使材料半导化，V5+取代Ti4+改变微孔参数和形状使电导增大。 湿度特性：测试的湿度环境用过饱和盐溶液在11%～98%RH间进行。如图。R(Ω)20 40 60 80 100相对湿度（%RH） 为避免直流极化的影响，采用交流