第四章电感式传感器第三节电涡流式传感器.pptVIP

§4-3 电涡流式传感器五、应用 由于电涡流传感器测量范围大，灵敏度高，结构简单，抗干扰能力强，且为非接触式测量，故应用十分广泛。 ? §4-3 电涡流式传感器五、应用 ? 被测参数 变 换 量 特 征 位 移 振 动 厚 度 传感器线圈与被测体之间的距离d 非接触式连续测量 受剩磁的影响 表面温度 电解质浓度 速度(流量) 被测体的电阻率ρ 非接触式连续测量 需进行温度补偿 位 移 振 动 厚 度 被测体的磁导率μ 非接触式连续测量 受剩磁和材质的影响 探 伤 d 、ρ、μ 可定量判断 第四章 电感式传感器 §4-1 自感式传感器 §4-2 差动变压器式传感器 §4-3 电涡流式传感器 §4-3 电涡流式传感器 【涡流】当导体置于交流磁场或在磁场中运动时，导体上会引起感应电流，此电流要导体内闭合，形成涡流。 §4-3 电涡流式传感器概述 电涡流大小与导体电阻率ρ、导磁率μ、产生交变磁场的线圈与被测物体之间的距离d、激励电源的频率f 等有关，固定其中若干个参数不变，就能按涡流大小测量另外某一个参数，电涡流传感器就是按此原理构成的。 §4-3 电涡流式传感器概述 电涡流的大小常用其穿透深度h 表示， 式中：ρ 为导体电阻率(Ω·cm)； μr 为导体相对磁导率； f 为交变磁场频率(Hz)。 §4-3 电涡流式传感器概述 【用途】检测位移、振动、应力、表面温度、流量和探伤等。 【特点】灵敏度高、结构简单、抗干扰能力强、非接触测量、测量对象广。 【类型】高频反射式和低频透射式。 §4-3 电涡流式传感器一、结构及工作原理 1、结构 目前较常用的电涡流传感器是高频反射式电涡流传感器，主要由一个安置在框架上的扁平圆形线圈组成。 一、结构及工作原理 2、工作原理 传感器线圈由高频信号激励，使之产生一个高频交变磁场φi ，当被测导体接近线圈时，在磁场作用范围的导体表层，产生了与磁场相交链的电涡流ie ,而此电涡流又将产生一交变磁场φe 来阻碍磁场的变化。 一、结构及工作原理 2、工作原理 从能量角度来看，在被测导体内存在着电涡流损耗 (当频率较高时可以忽略磁损耗)。能量损耗使传感器的Q 值和等效阻抗Z 降低，因此当被测物体与传感器间的距离d 改变时，传感器的Q 值和等效阻抗Z、电感L均发生变化，于是把位移量转换成电量，这就是电涡流传感器的工作原理。 §4-3 电涡流式传感器二、等效电路 无论运用什么方式构成传感器，其最终特性都与涡流有关，故需研究涡流形成和分布规律。 (1) 涡流的径向分布 涡流环路可看作以线圈(半径为R)轴线为中心的短路环，处于交变磁场下的金属板上有无穷多个这样的短路环，其中任一个环中涡流密度是环半径和磁感应分布的函数。 二、等效电路涡流分布规律 其分布随r/R的变化规律为 式中： ； J0 为r=R ( )处的电流密度。 涡流形成的范围约为(0.525?1.39)R 。 二、等效电路涡流分布规律 上式表明，涡流的分布规律(曲线形状)与线圈、金属板间的距离d无关、但d改变时，涡流密度J0和jr都将发生变化。设金属板中的等效电流为Ie,其与激励电流I有： 二、等效电路涡流分布规律 归一化曲线如图示： 可见，Ie随d的增加而急剧下降，故利用涡流传感器测量位移时，只在很小的测量范围内得到较好的线性和较高的灵敏度。 二、等效电路涡流分布规律 (2)涡流的轴向分布 涡流沿激励磁场轴向分布是不均匀的，有 式中：x 金属中某点与表面的距离 h 涡流渗透深度。 二、等效电路涡流分布规律 电流密度主要分布在表面附近(即趋肤效应)，故可用一个厚为x0的矩形来代替指数分布，使矩形面积与曲线面积相等。 二、等效电路 综上所述，涡流分布可视为一个平均半径为R0，厚度为x0的矩形截面圆环，即把金属看作一匝短路线圈，它与传感器存在磁耦合，于是，可得到等效电路。 二、等效电路 等效电路 二、等效电路 根据克希荷夫定律，可得如下电路方程 解上述方程组可求得 和 二、等效电路 由此求得线圈的等效阻抗Z和等效Q值等： 二、等效电路 这样，就可以将传感器与被测物体间的距离变换为传感器线圈的等效阻抗Z和等效电感L及等效Q值三个参数了。 测量L、Z、Q 就可获得距离d 。 §4-3 电涡流式传感器三、测量电路 电涡流传感器的测量电路就是为了要