液相沉积法制备TIOLT2GT薄膜的研究.pdf

昆明理工大学确：}论文 摘要 摘 要 随着氧化物功能薄膜在许多领域得到广泛应用，薄膜制各技术 也得到了很大的发展。目前薄膜制备方法大致可分为物理制膜法和 化学制膜法。在化学制膜法中，湿化学法因能量消耗低，环境影响 小，而在如今环境和能源成为世界瞩目的问题之时倍受欢迎，被称 SS(柔性过程)。 为SOft．Proce 近年来，在湿化学方法中发展起一种新的方法一液相沉积法 Phase 98 (Liquid sition简称LPD)，1 Depo 道。该法最初用来制备siO 2薄膜，以后得以发展，用来制备其他薄 膜。用此法只需在适当的反应液中浸入基片，在基片上便会沉积出 均匀致密的氧化物或氢氧化物薄膜。成膜过程不需热处理，不需昂 贵的设备，操作简单。 鉴于有关对利用LPD法沉积Ti02薄膜的系统研究未见报道， 但该方法在产业化和商业化方面存在的巨大潜力，因此我们开展了 液相沉积制备TiO 2薄膜的研究。 本文研究在水的沸点以下，将基片浸渍在含有络台物离子 锐钛矿相TiO 2薄膜。我们首次系统讨论了【TiF6]2。的浓度、反应物 中Ti元素和B元素的摩尔比、沉积时阐、反应湿度以及热处理温 度对沉积薄膜的结构和性能的影响，讨论了薄膜和反应沉淀物 等手段对薄膜和粉末进行了表征。研究结果表明： 5～0．2m01／1范围内， (1)氟钛酸铵((NH4)2TiF6)浓度在0．0 可以沉积透明性薄膜；当其浓度低于0．0111301／1时不能沉积出薄膜。 6)与硼酸(H3BO3)的摩尔浓度比 (2)氟钛酸铵((NH4)2TiF 为1：2～6时可以制得透明性薄膜。 0 5～90℃。当温度低于l (3)沉积透明性薄膜的温度范围为1 。C时无法沉积出薄膜。 (4)薄膜的厚度取决于【YiF6．。(OH)。】2’基团的相互聚合程度： 出于该聚合作用在玻璃基片上带有～定的方向性，所以薄膜的结晶 昆明理工大学硕士论文 摘要 具有一定的取向性。 (5)制得的TiO2薄膜无论热处理与否，均具有一定的光诱导 超亲水性和光催化性。 关键词：液相沉积 透明Ti0。薄膜锐钛矿型 超亲水性 光 催化性 II 垦塑些三查兰堡主丝苎 塑!!!竺! ABSTRACT kindsof of dfunctionalthinfilm are Many technologiespreparation onthe bright of withtheextensive of oxidethin